BTF-1200C-Ⅲ-S-400C-D 前端预热法硫化钼制备CVD设备-仪表网

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安徽贝意克设备技术有限公司坐落在合肥市高新区科学大道110号，是一家专注于新材料、新能源、装备设备的研发生产与一体的*，合肥市科技小巨人培育企业。公司拥有多名专家顾问，其中千人一位，青年千人2位，教授3位。公司拥有400平米的重点实验室，部分实验室对外开放。涉及领域包括，石墨烯、碳纳米管、高温荧光粉、OLED有机小分子材料、PECVD系统等。另外公司拥有智能高低温CVD系统、各种真空气氛管式炉，各种高低温箱式炉、等离子清洗设备、RF溅射设备、各种压力的手动自动压片机、各种功能尺寸的手套箱、各种功能的球磨机、金属陶瓷切磨抛设备、氧化锆齿科烧结炉等设备。

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一、设备特点前端预热法硫化钼制备CVD设备由预热炉、三温区管式炉、低真空机组和供气系统组成

BTF-1200C-Ⅲ-S-400C-D 前端预热法硫化钼制备CVD设备产品详情

一、设备特点

前端预热法硫化钼制备CVD设备由预热炉、三温区管式炉、低真空机组和供气系统组成。

前端配有可加热到500℃的预加热器，辅助硫粉蒸发，后端为三温区硫化炉，温度控制精确，操作简便。同时搭配三路质量流量计系统，可以精确控制实验所需的气体流量，低真空机组可以满足抽真空的需求。

二、技术参数

系统热场Φ80mm

主要特点：

1、可通气氛抽真空，其开启式结构使得拆装炉管方便，操作简捷，使用者可直接将密封腔体移出炉体，加快降温过程；

2、根据管径不同，法兰分为卡箍和折页两种密封方式，安装拆卸简便快捷，减去了取放料时的繁琐操作

3、炉管工件横穿与上下各6组进口电阻丝的炉膛，温场均匀，内外温差可控制在3度左右；

4、体积小，性价比高。

该设备广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。

5、法兰进气端装有两个进气口和截止阀。

前端预热设备指标：

前端预热器在二硫化钼实验中，可对硫，磷等固态源进行加热蒸发。

型号：BTF-500C

工作温度：500℃

温度：800℃

升温速率：30℃/min

推荐升温速率：10℃/min

控温方式：智能化30段可编程控制

工作电压：AC220 V

额定功率：800W

控温精度：±1℃

加热元件：电阻丝

反应腔体指标：

额定功率：7KW

额定电压：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

温度：1200℃

持续工作温度≤1100℃

推荐升温速率：15℃/min

系统热场 Φ80mm

炉管尺寸：高纯石英管Φ80mm

加热区长度：200+200+200mm

恒温区长度：300mm

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。

加热元件：电阻丝

供气系统（3路）

主要特点：

该供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制，此款设备与各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

技术参数：

工作电压：185~245V，50 Hz

输出功率：18W

进出气：3路进气，2路出气。其中2路气体经过质量流量计进入混气罐混合后输出，1路气体进入质量流量计后单独输出。

流量计标准：MFC1、MFC2：Ar、O2;

MFC3：Ar

（量程可选，根据需求定制）

工作温度：4~45℃

工作压差：0.1~0.5Mpa

压力：3Mpa

准确度：±1.5%F.S

压力表测量范围：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

混气罐：Φ80*120mm

截止阀：Φ6mm

尺寸：600*600*650mm

低真空机组

设备特点：

VAU-02是一套低真空机组，内部安装机械泵1台，复合真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。

技术参数：

1、技术参数：

空气相对湿度≤85%

工作电电压：220V±10% 50~60HZ

功率：1千瓦

抽气速率：10m³/h

极限真空：4X10^-2Pa

实验真空度：1.0X10^-1Pa

容油量：1.1L

进气口口径：KF25

排气口口径：KF25

转速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸:600×600×650m

2、真空计参数：

型号：PPG-800K

适用范围：适合于各类气体或甚至于混合气体的场合

测量范围：1.0×10-3~1.33×105Pa

测量精度：1.33×102~1.33×105Pa ±0.15%的满量程

安装方向：任意无限制

电源电压：18~30VDC

电源功率：1.4W（开机时2W）

外型尺寸（含规管）：48×30×68（93）mm

尾气处理系统

双级尾气处理气体，前级做一个液封安全瓶，后期为NaOH溶剂吸收瓶。瓶体为304不锈钢材质，内喷四氟。

关键词：加热器质量流量计截止阀流量计触摸屏

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