◆ 分辨率高，成像质量更好
◆ 翻开式发叉结构钨丝阴极，更换灯丝方便
◆ 纯中文操作界面，具有一键成像功能
◆ 自动调整功能：电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等
◆ 自动校正、自动故障检测
◆ 低维护、维修成本
项目 | EM6900 | EM6900Z | |
分辨率 | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) | ||
放大倍数 | 底片放大：6X～300000X 屏幕放大：12X～600000X | ||
电子枪类型 | 翻开式发叉结构钨丝阴极 | ||
加速电压 | 0 ~ 30KV | ||
透镜系统 | 三级电磁透镜（锥形物镜） | ||
物镜光阑 | 三个光阑可在真空外选择调节 | ||
样品台 | 手动 | X/Y轴自动 | |
行程 | X | 0 ~ 80mm | |
Y | 0 ~ 60mm | ||
Z | 0 ~ 50mm | ||
R | 360° | ||
T | -5° ~ 90° | ||
样品直径 | 175mm | ||
探测器 | CCD 背散射电子探测器，X-ray能谱仪 EBL 高低温台纳米操作台拉伸台 | ||
真空系统 | 分子泵 | ||
多样化的电镜应用定制方案
1. 高低温拉伸台和微纳机械手
 | 扫描电镜结合原位拉伸试验台是一种能够动态观测和分析材料微观变形形貌和断裂机制的手段； 利用扫描电镜的大景深、高空间分辨和分析功能，在微观层面上对材料的力学性能进行动态研究； 可以为多种材料做拉伸测试，如金属材料、高分子材料、陶瓷材料等； 拉伸载荷：5000 N，可以实现-150 ℃~600 ℃温度下拉伸测试。 |
扫描电镜结合纳米机械手，集合纳米操作以及力学-电学性能同步测试功能于一体； 可以应用于复杂微纳米材料的原位机械力学性能测试和结构观察、微纳米多自由度操作和精密组装、微纳米机器人及微纳传感器的力/电学分析等； 力学测量范围从0.5 nN到200 mN，位移检测范围0.05 nm到21 mm。 |  |
2. 电子束曝光(EBL)系统
以扫描电子显微镜为基础，配备激光精密工件台和图形发生器的新型纳米曝光系统，跟商品化电子束曝光机相比价格低廉；
无需改动电子显微镜，保留显微镜的全部功能，用来制作纳米级线宽的图像，操作灵活，成本较低；
DY-2000A型纳米通用图形发生器是用于电子束曝光的关键设备；
该系统特别适用于微电子器件、量子器件、光电子器件、声表面波器件、微电子系统的研究和开发。
3. 扫描电镜与激光联用系统
根据客户定制需求，在电子枪室和样品仓侧面开口，用于激光引入；
电子枪室引入激光，照射到阴极上可产生光致发射电子束，用于表面成像、样品处理等；
样品仓引入激光到样品表面，用于样品激发或样品光致改性研究。
4. 扫描电镜与镀膜机联用系统
扫描电镜与镀膜系统联用，真空环境内完成样品传运以及表面状态、形貌及组成成分分析；
在线分析高活性材料表面离子溅射清洗效果及表面腐蚀的微观过程；
本系统主要功能模块包括：场发射扫描电子显微系统、能谱仪、进样系统，同时还可以配备多功能样品台。
5. 扫描电镜与扫描隧道显微镜(STM)/原子力显微镜(AFM)联用系统
利用扫描电镜放大倍数连续可调、长工作距离、大景深、易于观测粗糙样品的特点；
与STM/AFM结合，解决STM/AFM难于定位的难题；
首先使用扫描电镜进行选区，然后控制探针到选定的微观区域进行细致成像；
实现从宏观到微观，从mm 范围到nm 范围，从粗造表面到光滑表面的直接观察；
6. 电子束焊机图像系统
巧妙地利用焊机已有的一些部件，基于背散射电子成像，实现图像功能；
数字化的图像可以定位焊缝的位置，为跟踪焊接轨迹，调整焊接参数提供了条件，
大大改善焊接过程和焊缝质量；
这套图像系统既可以用于配套生产新型的电子束焊机，也可以用于升级改造旧的电子束焊机。
软件功能介绍
KYKY-SEM电镜操作软件纯中文操作界面，模块化布局。在满足基本电镜的操作功能外还具有一键看像，多点尺寸测量，电镜图片文字标注，真空图显示，CCD窗口显示等强大的辅助功能，满足不同用户的个性化需求。
图像处理软件
场枪图片示例
行业应用
电池材料
复合、高分子材料
动植物、微生物
粉末冶金材料
矿物
金属行业
纤维
建筑材料
化工材料
陶瓷材料
膜行业
客户定制：样品预处理系统、样品传输系统、特型样品室、电子束曝光系统（EBL）、分子束外延生长系统（MBE）、MICRO-CT、原位拉伸台、高低温样品台、微纳操作、三束加工设备、拉曼联用、薄膜在线显微分析等技术模块及综合功能测试平台。
