TM3030日立台式扫描电镜标配的4分割背散射探测器,可采集来自四个不同方向的图像信息,可以有四种成像模式。标配大样品舱，可容纳样品直径70mm,厚度50mm。
日立高新在2005年4月推出了代台式显微镜，迄今为止，TM1000、TM3000、TM3030、 TM3030Plus一起出厂台数已经有2900台。
TM3030日立台式扫描电镜的低真空显微镜功能使得样品不需任何处理即可快速进行观察。紧凑型设计意味着TM3030可以在办公室和其他地方方便地安装和操作。通过优化电子光学系统，TM3030还提供了“5kV mode”，使得样品表面结构得到观察，并且观察不需要在高加速电压下进行。
项目 | TM3030 | TM3030Plus |
观察条件 | 5KV：3级 | |
(Low Mag. /Mid. Mag. /High Mag.) | ||
15KV | ||
15KV(Higher current) | ||
放大倍数 | 15X to 60,000X（数码连续放大：x2，x4） | |
探测器 | 背散射电子探测器 | 背散射电子探测器，二次电子探测器 |
信号 | BSE | BSE |
SE | ||
合成（BSE+SE） | ||
观察模式（真空度） | 标准模式（3-5Pa） | 导体（3-5Pa）（BSE only） |
消除核电模式（50Pa） | 标准模式（30Pa） | |
消除核电模式（50Pa） | ||
样品尺寸 | 70mm（径）X 50（高） | |
PC（OS） | Windows 7（32/64 bit） | Windows 7（64 bit） |
重量（主机） | 63kg（手动台） | 65kg（手动台） |
66kg（马达台） | 68kg（马达台） | |
自选附件 | EDX（Quantax70，SwiftED3000,3D View software）冷台，倾斜&旋转台 | |
