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ST-1系列压力敏感芯体是为我国九十年代的航天军事应用而开发的产品。溅射薄膜压力芯体其利用离子束溅射薄膜技术结合*的微电子工艺技术制造而成的不锈钢弹性膜片。离子束溅射在电阻合金材料上，在膜片上制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变电阻，膜片变形使电阻的几何尺寸和阻值发生改变,电桥输出相应电信号。薄膜应变电阻与弹性体“融”为一体,组成全金属型敏感元件,无任何粘贴剂和紧固件, 可长期在-200℃～+200℃工作温度下稳定工作。
溅射薄膜压力芯体具有准确度高，工作温度范围宽，温漂小，高稳定，高可靠，抗振动，抗冲击，抗辐射的工作特性。溅射薄膜压力芯体因使用微束脉冲亚弧焊和激光焊，具有防水、防潮功能，在各种恶劣的环境下能长期稳定的工作。
溅射薄膜压力芯体广泛应用于航空、航天、交通、水利、电力、工程机械、汽车制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、医疗设备、食品加工等多种自控和测量行业。
主要技术参数
被测介质 | 气体,液体及蒸气 |
压力类型 | 表压、绝压、差压可选 |
量程 | 0.5～300MPa间任意可选 |
供电电源 | 3～15V DC（建议5V DC或10V DC） |
输出灵敏度 | 1.5～2.0mV/V、3.5～5.5 mV/V可选 |
综合精度 | ±0.1%FS、±0.2%FS、±0.5%FS |
非线性 | 0.02～0.05%FS之间 |
迟滞 | 0.02～0.05%FS之间 |
重复性 | 0.02～0.05%FS之间 |
零点温漂 | ±0.01%FS/℃ |
灵敏度温漂 | ±0.015%FS/℃ |
输出阻抗 | 2.5～3.8KΩ、3～7KΩ |
绝缘电阻 | ≥200 MΩ/100VDC |
工作温度 | -196℃～+85℃…125℃…150℃…175℃…200℃可选 |
过载能力 | 150%FS |
频率响应 | 1200 Hz |
电气连接 | 焊点（镍）（用户自己焊接 或委托我们焊接好） |
接液材料 | 膜片：17-4PH |
相对湿度 | 0～95% RH |
量程规格：
0.5MPa、0.7MPa、1MPa、2MPa、3.5MPa、5MPa、7MPa、10MPa、16MPa、25MPa、40MPa、70MPa、100MPa、160MPa、200MPa、250MPa 可选择
尺寸规格：
