TwisTorr / Turbo-V / Navigator 涡轮分子泵
安捷伦(前Varian/瓦瑞安)提供了抽速从 46 至 7500 升/秒的全系列涡轮分子泵，其中包括 Navigator 和 TwisTorr 两个产品线。安捷伦涡轮分子泵经过优化设计，可以在低压强内实现高压缩比，在大抽气量和高前级压强是实现的压差。该涡轮分子泵为无油、无污染型，可以以任意角度安装而不对材料施加应力，故障率低，其平均故障时间 (MTTF) 通常大于 250000 小时。该泵以安捷伦范围内优秀的应用和技术支持团队为后盾。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体，并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的专用泵。
产品特点：
- 功耗更低、性能更佳
- 通过减少发热而节能，并提高可靠性
- 为风冷而优化的冷却翅片
- 通过降低工作温度进一步提高可靠性
- 功率要求低，前级耐压高及可承受高气载
- 可连接各种前级泵
- 冷却方式灵活（风冷或水冷）
- *的转子设计与 TwisTorr 技术相结合，可将泵级数减少 30%
- 我们的整体型转子可减少材料应力并改善组装件容差
- 电机缩短启动时间并在气体负荷变化情况下提高泵的稳定性
- 洁净的免维护真空
技术参数：
| Turbo-V81T | Turbo-V81M | TwisTorr-84FS | TwisTorr-304FS | Turbo-V551 Navigator | Turbo-V701 Navigator | Turbo-V750 TwisTorr | Turbo-V850 TwisTorr | Turbo-V1001 Navigator | Turbo-V2300 TwisTorr | Turbo-V1K-G | Turbo-V2K-G System | Turbo-V3K-G System | |||||||||||
| DN40 | DN63 | DN40 | DN63 | DN40 | DN63 | DN100 | DN160 | DN100 | DN160 | DN200 | DN100 | DN160 | DN200 | DN160 | DN200 | DN250 | DN250 | DN160 | DN200 | DN250 | DN250 | ||
| 抽速, l/s | 氮气 | 50 | 77 | 50 | 77 | 56 | 67 | 250 | 250 | 350 | 550 | 690 | 370 | 700 | 750 | 790 | 950 | 1050 | 2050 | 810 | 1080 | 1600 | 2200 |
| 氦气 | 56 | 65 | 56 | 65 | 46 | 63 | 255 | 255 | 450 | 600 | 620 | 500 | 680 | 690 | 820 | 870 | 900 | 1800 | 950 | 1150 | |||
| 氢气 | 46 | 50 | 46 | 50 | 40 | 53 | 220 | 220 | 450 | 510 | 510 | 470 | 580 | 590 | 860 | 900 | 920 | 1500 | 680 | 730 | |||
| 氩气 | 57 | 66 | 250 | 250 | 340 | 680 | 700 | 750 | 1040 | ||||||||||||||
| 压缩比 | 氮气 | 7×108 | 3×108 | >1×1011 | >1×1011 | >1×109 | 1×109 | 1×1011 | 1×1011 | 1×109 | >8×108 | >5×107 | 3×105 | >1×107 | |||||||||
| 氦气 | 3×103 | 8×104 | 2.0×106 | >1×108 | 1×107 | 1×107 | 2×108 | 2×108 | 1×107 | 8×105 | >4×104 | ||||||||||||
| 氢气 | 3×102 | 7×103 | 5.0×104 | 1.5×106 | 1×106 | 1×106 | 2.5×106 | 2.5×106 | 1×106 | 4×104 | 1.5×104 | ||||||||||||
| 氩气 | >1×1011 | >1×1011 | 1×1011 | 1×1011 | 5×108 | ||||||||||||||||||
| 极限压强,mbar | 5×10-9 | 5×10-10 | <8×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10–8 | <1×10–9 | ||||||||||
| 启动时间,min | < 1 | < 1 | <2 | < 3 | <5 | <5 | <6 | <3 | <4 | <6 | <5 | <7 | <6 | ||||||||||
| 转速, rpm | 80,000 | 80,000 | 81,000 | 60,000 | 42,000 | 42,000 | 50,000 | 50,000 | 38,000 | 33,300 | 45,660 | 33,000 | 31,800 | ||||||||||
| 进气口法兰 | KF, mm | 40 | 40 | 40 | |||||||||||||||||||
| CF, mm | 35 | 63 | 35 | 63 | 35 | 63 | 100 | 160 | 100 | 160 | 200 | 100 | 160 | 200 | 200 | 250 | |||||||
| ISO, mm | 63 | 63 | 63 | 100 | 160 | 160 | 200 | 160 | 200 | 160 | 200 | 250 | |||||||||||
| ISO-F, mm | 160-F | 200-F | 160 | 200 | 200-F | 250-F | 250-F | 160-F | 200-F | 250-F | 250-F | ||||||||||||
| 排气口法兰 | KF | NW16 | NW16 | NW16 | NW16(NW25 optional) | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 NW40 | NW40 | NW40 | NW25 | NW40 | NW40 | NW40 | ||||||||
| SEM 版本 | V | V | V | V | |||||||||||||||||||
| 電源控制器 | Rack | V | V | V | V | V | V | V | V | V | V | V | |||||||||||
| on board | V | V | V | V | V | V | V | V | |||||||||||||||
| Integrated electronics | V | V | V | V | |||||||||||||||||||
| PCB | V | V | V | ||||||||||||||||||||
Turbo-V 2K-G 涡轮分子泵
Turbo-V 2K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以工作在高流速的氩气氛围下和温度的环境中。此外，V-2K G的特点为控制器集成于泵内、一体化的放空和吹扫阀以及免维护的轴承。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 2K-G 成为镀膜工业的分子泵解决方案。
特点：
- 为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
- 目前性能、的装置。为限度提高系统生产率和正常运行时间而设计的集成化解决方案。
- 将涡轮分子泵、驱动器件、电源、MoniTorr、吹扫气装置和通信装置集于一身
- 通用电子器件接口和使用简单的控制软件模拟 I/O 信号和 RS232/RS485 接口为标准配置
- 安捷伦 Profibus 接口（可选）
Navigator涡轮分子泵
TwisTorr 涡轮分子泵
