一、产品描述
主要利用涡电流测试原理,非接触测试半导体材料,石墨烯,透明导电膜,碳纳米管,金属等材料的电学特性。
二、主要特点
本仪器为非接触,非损伤测试,具有测试速度快,重复性佳,测试敏感性高,可以直接测试产品片等优点。
三、核心模块描述
产品集成方阻(电阻率)、PN型、温度三探头一体式测量,可广泛用于硅片分选机、生产过程分析等光伏及半导体测量领域。本产品由如下部分组成:
1、控制主机
可实现电阻率探头、PN探头、温度探头、光纤信号的统一管理;与远程电脑进行网络通讯。
2、方阻(电阻率)探头
主要利用涡电流测试原理,非接触测试半导体材料,石墨烯,透明导电膜,碳纳米管,金属等材料的电学特性。
3、PN类型检测探头
利用光伏效应,通过测量由光伏效应引起的表面光电压 (SPV), 分析半导体材料相关性质。
四、主要技术参数
参数 | 探头 | 说明 | |
组成 | 方阻探头 | 方法:非接触式涡流法 范围:1-300Ω/□ (0.1 - 20Ω*cm,Tk≈750um) 重复性:<1% 示值误差:<±3% 单点测量时间:< 1秒 | 型号:R-PN-200 (九域半导体科技) |
PN探头 | 方法:非接触式SPV法 单点测量时间:< 1秒 误判断 < 0.02% | ||
控制器 | 可同时连接电阻率探头和PN探头,可扩展温度探头 | ||
OCR | COGNEX IN-SIGHT 1740系列晶圆读码器 | ||
主机 | DELL(windows 10)+23寸显示屏 专用数据分析软件(记录、质控、Mapping) 可接入MES系统 | ||
测量过程 | 1、放置Wafer至样品台 2、通过按钮Ocr识别Wafer ID信息 3、手动移动探头至待测位置,按钮触发测量 4、数据显示(包括PN 和 方阻或电阻率)、记录、质控、输出文件等 5、根据客户需求可定制MES系统 | ||
Wafer信息 | 尺寸:> 2” | ||
额定功率 | 36W(数据分析模组) + 250W(电脑) | ||
环境温度 | 23 ±5°C | ||
电源要求 | 额定电压(220±22)VAC 频率(50±1)Hz | ||
提供标样 | 标准片:1片(4寸),电阻率范围1Ω*cm - 10Ω*cm | ||
验收判定 | n 测试条件:设备正常运行后,不低于10片的Wafer进行测试 n 设备性能:满足上述量程内重复性及准确性标准 |
五、仪器使用环境
l 环境温度:23 ±5°C
l 环境湿度:(65±20)%RH
l 电源要求:额定电压(220±22)VAC 频率(50±1)Hz
六、安装与验收
1) 物流运输;
2) 仪器至甲方后,乙方在得到甲方通知后(最迟甲方签收仪器后5个工作日),上门为甲方安装通电并协助甲方验收;
3) 验收标准:以本协议第2项技术参数中的“验收判定”内容实施现场验收;
4) 验收合格后甲方为乙方签字确认。
七、技术支持与培训
1) 乙方提供7*12h在线技术支持,2小时内回馈;
2) 乙方负责在验收过程中对甲方技术人员现场技术培训;
3) 在质保期内,乙方为甲方提供全套免费技术服务,不限于更换备件等;质保期后,若非人为损坏仪器的维修服务,乙方只收取硬件成本费用;
4) 乙方免费协助甲方将仪器数据对接至甲方MES系统,若需增加硬件则无需甲方承担费用。
八、质保期
本仪器,乙方提供自验收之日起1年质保;
九、发货备件清单
序号 | 名称 | 数量 |
1 | 测试仪 | 1台 |
2 | 电源线 | 1条 |
3 | 电脑(Windows正版、数据GHOST备份) | 1台 |
4 | 通讯线 | 1条 |
5 | 说明书 | 1本 |
6 | 出厂合格证 | 1个 |