5轴机械臂5轴水平多关节型洁净机械手臂-仪表网

公司介绍主营产品

总部设于上海，系专业化、集成化的电子制造行业综合服务性企业。公司致力于引进国外制造设备、精密检测仪器、*生产材料，服务于国内电子制造行业，以助于国内企业提高产品品质，由制造型向创造型企业迈进。公司依托于中国国内电子制造业的高速发展，产品已涉及消费电子制造、汽车电子、半导体、LED以及光伏太阳能等行业领域，已在市场中建立起良好的信誉和广泛的商业资源。近年来，随着市场的日渐成熟和业务的不断发展，公司的业务已经遍布中国大陆以及港台市场，并形成较为完善的销售网络，深得广大电子产品制造商的青睐。本公司将紧跟信息时代的发展步伐，充分利用自身优势，不断提升自身的服务理念，致力于为客户提供更专业化、系统化的技术支持与服务，进一步建立稳固的销售网络，从而将公司发展成为中国电子行业发展的企业。

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5轴水平多关节型洁净机械手臂特点：可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能适用于300mm半导体生产设备内部

5轴机械臂5轴水平多关节型洁净机械手臂产品详情

5轴水平多关节型洁净机械手臂特点：

可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列

单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能

适用于300mm半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运

机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm

机械手臂可以单独对应2个FOUP（210mm臂长）

或者3个FOUP（280mm臂长）

双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间

适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴采用值编码器规格的AC伺服电机

通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化

能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式

手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供的手指

5轴水平多关节型洁净机械手臂基本参数：

使用环境	洁净间内的大气环境
手臂	单臂
到达距离	553mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴行程	300mm / 400mm / 500mm
可搬运质量	4kg (手臂第3关节处基准)

如需详细产品参数请联系我们

关键词：机械手标准监视器

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