产品概述
原子力显微镜PZ-1000 AFM采用扫描探头和样品台集成一体的光机电一体化设计。高精度大范围的压电陶瓷扫描器可根据不同精度和扫描范围要求选择，弹簧悬挂式防震方式的结构简单实用，抗力强。
一、主要功能特点
硬件系统
1、主机与控制箱分开，外形结构简单；
2、扫描探头和样品台集成一体，抗力强；
3、精密激光定位装置，使用时无需调节光斑位置；
4、采用精密探针定位模块，更换探针简单方便；
5、采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；
6、伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；
7、高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；
8、高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；
9、高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；
10、模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；
11、集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用；
12、弹簧悬挂式防震方式，简单实用，抗力强。
软件系统
1、可自由选择图像采样点为256×256或512×512；
2、多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图；
3、可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域；
4、可任意选择样品起始扫描角度；
5、激光光斑检测系统的实时调整功能；
6、可任意定义扫描图像的色板功能；
7、支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能；
8、支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正；
9、支持样品图片离线分析与处理功能。
规格参数
| 序号 | 名 称 | 参 数 |
| 01 | 工作模式 | 接触、摩擦力(可选配轻敲、相位、磁力、静电力) |
| 02 | 样品尺寸 | Φ≤90mm；H≤20mm |
| 03 | 扫描范围 | 横向20um，纵向2um |
| 04 | 扫描分辨率 | 横向0.2nm，纵向0.05nm |
| 05 | 扫描速率 | 0.6Hz~4.34Hz |
| 06 | 扫描控制 | XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A |
| 07 | 数据采样 | 14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样 |
| 08 | 扫描角度 | 任意 |
| 09 | 样品移动范围 | 0～20mm |
| 10 | 马达趋近脉冲宽度 | 10±2ms |
| 11 | 光学放大倍数 | 4X |
| 12 | 光学分辨率 | 2.5um |
| 13 | 图像采样点 | 256×256，512×512 |
| 14 | 反馈方式 | DSP数字反馈 |
| 15 | 反馈采样速率 | 64.0KHz |
| 16 | 计算机接口 | USB2.0 |
| 17 | 运行环境 | 运行于Windows98/2000/XP/7/8操作系统 |
