ALICAT 气体质量流量控制器-双向型 22系列

产品特色

●  数字化产品，双向流量控制

●  多参数显示和输出：温度、压力、流量等

●  多参数控制:体积流量、质量流量和压力

●  标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板

●  可选高精度：可优于0.5%

●  高量程比 200：1

●  响应时间快 仅需100 ms（可调）

●  内置98种气体

●  可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

技术指标

介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类：内置了98种气体，请参考“产品资料下载”气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量程：从-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
显示流量：-99%FS～99%FS
显示屏：带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-双向满量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
重复性：± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移：0.02% FS / ?C / Atm
响应时间：100ms(可调) 预热时间：<1s
标定工况：25?C & 100kPa 绝压、20?C & 100kPa 绝压、0?C & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度：-10 ～ +50 ?C
工作湿度：0-99%,无冷凝
标准工作压力：1MPa 表压
标准极限耐压：1.2MPa 表压

中压选项：2MPa
数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度
供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流：250mA ～ 750mA
电气接口：8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头
材质：302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃
安装方式：对位置无要求 防护等级：IP40
* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需咨询我们

选项配件

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