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- 主要特点-
ZNX超精密电容位移传感器特点：
(1)、量程20～1250μm； 分辨率<0.1nm；线性0.02%；< span="">
(2)、对位置的尺度变化非常敏感，精确测量到皮米级位移变化；
(3)、可调谐以满足应用要求；
(4)、高精度，线性度可至0.02%FS；
(5)、高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以限度地减少位置漂移；
(6)、适用于各种应用并适应各种环境挑战，可用于真空，低温，强辐射。
-应用领域-
ZNX超精密电容位移传感器应用领域：
压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。
- 技术规格-
ZNX超精密电容位移传感器技术规格：
传感器型号 | ZNXB | ZNXC | ZNXD |
小量程μm | 20 | 100 | 250 |
灵敏度μm/V | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
温漂nm/K | 1 | 4.4 | 11 |
线性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
大量程μm | 100 | 500 | 1250 |
灵敏度μm/V | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
温漂nm/K | 3 或 230 | 3 或 230 | 3 或 230 |
线性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
工作温度 | +10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探头） | ||
存储温度 | 0～+70℃ | ||
相对湿度 | 5～95%（无冷凝） | ||
频响Hz | 50/500/5000 | ||
控制器型号 | CC-A-4101 | ||
传感器通道个数 | 1 | ||
供电 | ±15V，75mA | ||
模拟输出V | ±10 | ||
数字输出 | |||
尺寸mm | 218 x 77 x 34 | ||
频响Hz | 100 or 1k or 10k | ||
◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。
- 测量原理-
ZNX超精密电容位移传感器测量原理：
