ZED52差动电涡流位置传感器特点:
(1)、线性度:±0.1~1%;
(2)、量程:±0.25mm /±1.915mm;
(3)、频响: 0~22KHz;
(4)、埃米级分辨率;
(5)、高灵敏度,394mV/μm;
(6)、小尺寸:只有7.7立方英寸;
(7)、极度线性,满量程0.1%;
(9)、单通道和双通道配置
在涡流差动系统中,感应电桥中的两个线圈安装在两个独立的传感器中。并不是一个有源线圈和一个参考线圈,而是两个传感器都包含有源线圈,这两个传感器通常放置在目标的相对两侧或目标枢轴点的相对两侧。当目标靠近一个传感器时,它会远离另一个传感器,从而增加电感电桥一条腿的阻抗,并降低另一条腿的阻抗。这种推挽效应放大了每位移的线性输出,并消除了对增加噪声和漂移的求和放大器的需要。因此,差分系统比单端系统提供更高的分辨率和热稳定性。
对于被测物的要求:
1、 材料: 铝是的目标材料。只要遵守目标厚度指南,您就可以将铝目标安装在温度特性更稳定的材料上,例如 Invar 或其他基板;可以用来检测铁、镍和它们的许多合金材质的被测物,但这些材料的性能可能不符合标准性能规格。 -- PS:可根据客户项目要求,直接使用除铝以外的目标材料进行校准。
2、厚度:为避免目标温度变化引起的变化,请使用下表中推荐的最小目标厚度。 在传感器彼此相对且目标位于它们之间的应用中,最小厚度应至少为上述所列厚度的两倍,以防止传感器相互作用。
3、尺寸:最小目标尺寸必须是传感器直径的 1.5 到 2 倍。 为了获得性能,目标尺寸是传感器直径的 3 倍。
ZED52差动电涡流位置传感器应用领域:
快速转向镜
伺服控制位置反馈
舞台定位
角位移指示
X-Y 轨道位置反馈
触控笔位置
磁悬浮轴承定位
精密构件平衡
集成电路制造平台定位
……
ZED52差动电涡流位置传感器技术规格:
ZED52差动电涡流位置传感器测量原理:
差分测量系统是精密测量技术的重大进步。 它们提供出色的分辨率、可重复性和归零精度,用于检测导电目标相对于一对非接触式传感器的对齐/居中位置。
对于差分测量应用,每个通道有两个精确匹配的传感器位于目标的相对两侧或两端。在这种传感器到目标的关系中,当目标远离一个传感器时,它向另一个传感器移动等量。输出为差分和双极。 同一电桥的相对腿上的电子匹配传感器提供了的热稳定性。