ZED51埃米级超稳定差动电涡流传感器特点:
(1)、每通道两个精确匹配的传感器使分辨率达到1nm(动态,静态分辨率可达0.1nm);
(2)、超耐热,长时间稳定:1.27x10-4mm/月或更好;
(3)、有耐低温传感器;
(4)、超高灵敏度,到394 mV/µm;
(5)、低功耗:小于2W(±15 Vdc典型情况下);
(6)、探头和控制器都可用于低至 10-6Torr 的真空应用;
(7)、小尺寸:2 x 2.12 x 0.75 英寸厚。
对于被测物的要求:
1、 材料: KD5100不可以检测铁、镍和它们的许多合金(磁性导电的被测物);铝是的目标材料。只要遵守目标厚度指南,您就可以将铝目标安装在温度特性更稳定的材料上,例如 Invar 或其他基板。 -- PS:可根据客户项目要求,直接使用除铝以外的目标材料进行校准。
2、厚度:为避免目标温度变化引起的变化,被测物的最小厚度应至少为三个趋肤深度。在传感器彼此相对的情况下,铝目标厚度必须至少为 0.050 英寸,以防止传感器相互作用。
3、尺寸:最小目标横截面必须是传感器直径的 1.5 到 2 倍。
ZED51埃米级超稳定差动电涡流传感器应用领域:
差动测量: 两个精确匹配的传感器被放置在被测物平台两侧,这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端,这个结构提供了的线性和热稳定性,所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。如激光反射镜聚焦平台定位。
低温应用: 20N传感器有一个专门的低温应用版本,它有一个内部伸缩接头,当用螺丝安装一个贝勒维尔垫圈后,可有效消除压力或温度引起的机械变性。已证明其在70°K的液态氮中有异的性能。好几个空间项目在4°K的液态氦环境中使用了此传感器。
真空应用: 传感器和ZED51的电子器件都已用在10-6托的真空应用中了。
超高精度宇航应用: 已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。ZED51在战斗环境下超过55,000小时,太空飞行环境下超过238,000小时。 小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ,可应用于空间狭小的场合。
商业差动: ZED52差分系统就是ZED51的一个商业版本。此系统大大减小了微分系统的成本,又保持了性能优势。在重量、大小和能耗没有特殊限定的情况下,这些差动系统是。
中继镜片激光定位(RME): RME演示了一束从地球发射到450公里轨道上人造卫星的激光可以被精确地反射到直径3米的目标地面。 ZED51被用于精确定位60cm的中继镜片,其精度高于试验目标的16倍,视线稳定度高2.3倍。
半导体圆晶片制造中的超高精确激光聚焦: 激光微注技术被用于开发半导体圆晶片制造中的“直接写入”应用和高吞吐量模板图案应用,而且还被融合进0.1微米工艺的产品中。ZED51就被应用到此技术中,精确控制激光的位置,完成超高精确位置、关键尺寸和对齐控制。
其它应用:精确望远镜定位、磁悬浮轴定位。
ZED51埃米级超稳定差动电涡流传感器技术规格:
ZED51埃米级超稳定差动电涡流传感器测量原理:
差分测量系统是精密测量技术的重大进步。 它们提供出色的分辨率、可重复性和归零精度,用于检测导电目标相对于一对非接触式传感器的对齐/居中位置。
对于差分测量应用,每个通道有两个精确匹配的传感器位于目标的相对两侧或两端。在这种传感器到目标的关系中,当目标远离一个传感器时,它向另一个传感器移动等量。输出为差分和双极。 同一电桥的相对腿上的电子匹配传感器提供了的热稳定性。