半导体特性分析系统

4200-SCS系统是用于器件、材料和半导体工艺电气特性分析的完整解决方案。这种的参数分析仪具有的测量灵敏
度和精度，同时集成了嵌入式Windows操作系统和吉时利交互式测试环境Interactive Test Environment，为用户进行半导体器件特性分析提供了直观而高的功能。它是一套功能强大的单机解决方案。要想获取某种器件或材料的特性参数，需要三种基本的电气测量技术。4200-SCS提供了这三种功能：

● 精密直流电流-电压（I-V）测量是实现器件电气特性分析的基础。
● 交流阻抗，包括大家熟知的电容-电压（C-V）技术，能够提供直流测量本身无法提供的器件特性。
● 脉冲和瞬态测试增加了一个时域维度，支持器件的动态特性分析。4200-SCS采用了模块化、可配置、可升的架构。这使得它能够准确满足当的测量需求，并通过扩展满足后期的需求。它的9个仪器插槽可以混合配置4种核心测量模块。
● 多达9个精密直流源-测量单元能够提供和测量0.1fA到1A的电压，或者1μV到210V的电压。
● 利用4210-CVU（C-V模块）可以方便的在1kHz到10MHz测试频率下进行交流阻抗测试。可以测量的电容范围从aF到μF。
● 利用4225-PMU超快I-V模块可以进行脉冲和瞬态测量。该模块具有两个独立的电压源，能够以1V/ns的步幅调整电压，输出同时测量电压和电流。当安装了多个模块时，它们内部同步的精度小于3ns。
● 选择两种不同的数字示波器模块能够方便而高效地生成数字波形。

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