HMDS真空烘箱-仪表网

公司介绍主营产品

苏州逸流电子有限公司，成立于201 1年4月28日，隶属于常熟加腾集团旗下，位于江苏省昆山市，专业从事生产加工控湿控温等干燥设备,电子防潮柜、氮气柜、烘箱、洁净烘箱、不锈钢无尘烘箱，真空固化箱，锂电池真空干燥箱、真空干燥箱、高低温冷热冲击试验箱等电子专用设备产品。企业拥有一支从事温湿度控制研发的专业队伍，生产厂房9000多平米，为国内较大的该类产品制造企业之- - -。所生产的各类产品质量稳定可靠，拥有多项技术,是用来存放湿度敏感材料的好帮手,成功地解决了广大客户对环境潮湿所带来的困扰。目前产品已经广泛用于电子、军红、研究机构、、化工等行业。产品通过多项认证, 获得拥有国家8项发明。企业拥有的钣金、喷涂、电子加工、组装、检测等的加工设备。公司一贯秉承以追求高效、环保、节能、务实的经营理念。倡导以人为本，用心服务客户，注重用户体验。“追求- -流品质、提供-流服务、成就企业”是我们永远的目标。展望未来，我们愿与您一起在商业的浪潮中携手成长，共创辉煌!苏州逸流电子有限公司温湿度技术与解决方案专业厂商!

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HMDS真空烘箱

HMDS真空烘箱产品详情

产品用途及原理

HMDS预处理系统(电脑式HMDS真空充氮烘箱)主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前预处理，增黏剂HMDS涂覆作业。本设备适用于在涂胶前对晶片进行预处理，集真空、烘烤、充氮、洁净、HMDS加液多功能与一体。设备由箱体、真空、加热、充氮、加液及控制等系统组成。通过多次预抽真空，充氮加热循环进行，既能达到使硅片表面干燥、洁净的效果，又能够有效的防止硅片的氧化和杂质的扩散，并且可以通过加液系统在硅片表面开成HDMS保护膜，从而使硅片具有良好的涂胶性能。和手工涂布HMDS相比，具有重复性好，节省药液，环保，对人体无害的显著优点;也可用于晶片其它工艺的清洗。

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