压电陶瓷的特点:
容性负载,驱动电压在0到150V
工作温度在-20℃~120℃,
输出位移小,输出力大
响应速度右在微秒级
驱动要求直流稳压电源
根据驱动的方式不同可输出直线位移,也可以作为震荡源使用
主要应用:
微型机械制造、超精密加工
集成电路制造、生物工程
医疗科学
光学微处理系统,光纤对接
航空航天领域
扫描探针显微镜
■ 峰值驱动电压范围:压电陶瓷需在给定电压内使用,超出负压使用范围压电陶瓷会反向极化,影响位移输出,超出正压使用范围会造成压电陶瓷损坏;
■ 位移迟滞:在同一个电压值下,上升曲线和下降曲线上的位移值有明显的位移差,且这个位移差会随着电压变化范围的改变而改变,驱动电压越小则位移
差也会相应越小,压电陶瓷的迟滞一般在给定电压对应位移值的10%~15% 左右。
■ 输出位移:电压输出150V时压电陶瓷所产生的峰值位移值;
■ 居里温度:陶瓷材料极化完成后所能承受峰值温度,超出给定温度后,压电陶瓷会失去压电特性;
■ 输出力:峰值出力相当于压电陶瓷的峰值负载变化,可以被闭环反馈位置控制。例如(压电陶瓷当被设置在90 V的位置时,此时闭环控制位置保持恒定。可
在产生的出力——压电陶瓷能被压缩补偿对应“60V”的力。
■ 不同负载下测试数据会有波动。
■ 以上数据均在室温22℃下测量所得。