C系列探针台通过增加屏蔽腔体的结构可实现无电磁干扰 (EMI) /射频干扰 (RFI)和不透光的测量环境,可在非真空条件下实现高低温测试需求。
产品亮点:C系列手动探针台
- 气控式卡盘移动平台
- 可升降式针座平台
- 的3倍率成像技术,显著提升测试效率
- 屏蔽腔体结构设计
产品参数:C系列手动探针台
卡盘XY移动平台(标准配置)
XY行程范围 | 300 mm x300 mm (12"x12") |
XY行程 | 300mm x 300 mm(满足大范围行程测试) |
移动精度/分辨率 | < 1.0 µm (0.04 mils) (~0.8 mm/rev) |
平面性 | ±5µm |
theta行程 | 粗调:360° |
微调精度:± 8.0° (optional)* | |
分辨率:7.5 x 10-3 gradient | |
运动控制 | 气控+无牙螺母控制 |
Z轴升降 | 快速升降:3mm |
微调升降:0-13mm,精度:≤2µm |
针座平台
材料 | 钢镀镍 |
针座数量 | 8 DC and 4 RF(取于针座配置) |
卡盘到针座平台下底面距离 | |
Z-height运动范围 | Max.0-40mm (取于卡盘配置) |
Separation lift | 3段:分离(300µm),Load装载(5mm),不间断升降(0-40mm) |
接触重复性 | < ±1µm (0.08 mils) |
RF 针座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
DC 针座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
(*规格和设计如有更改,恕不另行通知。)