SEA5100采用Si Li半导体检测器，使之测量分辨率大大提高，弥补了用比例计数管检测时有些元素难以区分的不足，配备有小型准直器,不仅可以进行元素分析，也可测量镀层厚度,与薄膜FP法配合使用时,可以不使用标准样品，就可以进行元素分析及镀层测量。标准配备有Windows2000中文操作界面，采用检量线法和FP法，测量数据与Word和Excel链接，自动生成报告和数据处理，2个准直器可自动切换，工作台3维电动，可编程进行自动测量
利用微小的X射线束流来进行微小的异物分析
虽然从微小的异物得到的信号量不随照射异物的X射线束流大小而改变，但是从底材得到信号随着束流的减小而减小，相对来说，从异物得到的信号跟底材的比增强。于是，微小的X射线束流在进行微小的异物和样品时，发挥着重要的作用。
虽然从微小的异物得到的信号量不随照射异物的X射线束流大小而改变，但是从底材得到信号随着束流的减小而减小，相对来说，从异物得到的信号跟底材的比增强。于是，微小的X射线束流在进行微小的异物和样品时，发挥着重要的作用。
方便简单的多点分析和成像
利用多彩的扫描方法，自动的测量样品的表面，简单明了的表示出2维或者3维的元素分布，膜厚组成分布等的成像。
利用多彩的扫描方法，自动的测量样品的表面，简单明了的表示出2维或者3维的元素分布，膜厚组成分布等的成像。
鲜明的样品画像和定性分析对比表示
通过光亮的照明和倍率切换，可以得到扩大90倍的画像，可以清楚的观察到微小的部分，通过鼠标和操纵杆，可以自由自在的移动样品，利用标有准直器尺寸的十字线，来不断的确认和调整需要分析部分的位置。
通过电镀部分和材质的能谙对比，确认曲线重合部分的元素的同时，正确的设定测量条件。
通过光亮的照明和倍率切换，可以得到扩大90倍的画像，可以清楚的观察到微小的部分，通过鼠标和操纵杆，可以自由自在的移动样品，利用标有准直器尺寸的十字线，来不断的确认和调整需要分析部分的位置。
通过电镀部分和材质的能谙对比，确认曲线重合部分的元素的同时，正确的设定测量条件。
自动完成分析报告
分析测量结束后，点击输出报告的按键，便自动的启动报告编辑软件。自动的表示出测量条件，样品图像，能谱，X射线强度，分析数据等。以此为基础进行编辑，可以简单的完成数据详细、具有说服力的分析报告。
分析测量结束后，点击输出报告的按键，便自动的启动报告编辑软件。自动的表示出测量条件，样品图像，能谱，X射线强度，分析数据等。以此为基础进行编辑，可以简单的完成数据详细、具有说服力的分析报告。
