HP-150 桌面式热板-仪表网

公司介绍主营产品

上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。

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产品简介在线询价

HP-150热板应用于光刻、MEMS 或相似工艺中，为提供精准的前烘和后烘工艺而存在。温度范围默认可达到 250°C。设定温度与实际温度之间几乎无偏差，可达到非常高质量的工艺水平。 HP系列热板具备高水平的温度精度重现性以及温度分布均匀性。可以处理150 × 150mm尺寸的基片。热板加热表面有玻璃盖板，方便清洁。有此设计，也能大限度降低维护成本。因此，SAWATEC热板是实验室、研......

HP-150 桌面式热板产品详情

产品功能

● 数字温度控制及实时温度显示

● 自动温度限幅开关，避免过热

● 配备安全玻璃，也方便清洁

● 热板快速调平，避免光刻胶流动

● 基片通过真空吸附固定

● 手动上下片

性能参数

● 均匀加热区域：150mm × 150mm

● 温度范围：室温到 250℃

● 温度均匀性：100℃ 时温差范围 +/-1℃

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