产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 可选高精度：优于0.5%
● 可测范围广，1～99%满量程
● 响应时间快，优于10 ms
● 内置130种常规以及腐蚀性气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体
应用及案例
● 大学/研究所
● 泄漏检测
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 半 导 体
● 汽车制造
● 计量校准
● 过程工艺气体测量
技术指标
介质要求 洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可
介质种类 内置了130种气体，请参考背面
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）
测量范围 1～99%满量程
显示流量 128 %满量程
显 示 屏 带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）
±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程）（可选），仅适用于量程为5 SCCM - 500 SLPM的设备
累计流量精度 流量精度之外增加 ± 0.5 % 额外误差
重 复 性 ± 0.2 %满量程
零点和量程漂移 0.02% 满量程 / ℃ / Atm
响应时间 优于10 ms
预热时间 ＜1 s
标定工况 25 ℃ & 1 Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ±0.75℃
工作湿度 0 ～99%，无冷凝
工作压力 1 MPa 表压
操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80KPaA以上使用； 其他真空压力建议做特殊标定
进出口压差 0.5 MPa
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@ 19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS-232/RS-485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 量程误差
供电电压 7-30 VDC （如选4-20 mA输出，须为15 - 30 VDC ）
供电电流 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）
电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 316L不锈钢、303不锈钢、430FRSS、FFKM（Kalrez)，可根据特殊气体选用Viton、EPDM、Buna、Neoprene
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
*如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询
尺寸压损
满量程质量流量计 | 满量程压损1（psid） 排气到大气中 | 机械尺寸 | 管道连接接口2 |
0.5 sccm - 1 sccm | 1.0 | 4.4''H ×2.4''W ×1.1''D | M-5 （10-32）（内螺纹） （Buna-N表面密封至1/8''NPT内） |
2 sccm - 50 sccm | 1.0 | ||
100 sccm - 20 slpm | 1.0 | 4.6''H ×2.4''W ×1.1''D | 1/8''NPT内螺纹 |
50 slpm | 2.0 | 5.1''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/4''NPT内螺纹 |
100 slpm | 2.5 | ||
250 slpm | 2.1 | 5.7''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/2''NPT内螺纹 |
500 slpm | 4.0 | 5.7''H ×4.0''W ×1.6''D | 3/4''NPT内螺纹 （2000 SLPM 可选配1-1/4''NPT内螺纹） |
1000 slpm | 6.0 | ||
1500 slpm | 9.0 | 6.0''H ×5.2''W ×2.9''D | |
2000 slpm | 5.0 | ||
3000 slpm | 7.1 | 6.0''H ×5.2''W ×2.9''D | 1-1/4''NPT内螺纹 |
5000 slpm | 3.4 | 7.0''H ×5.2''W ×3.9''D | 2''NPT内螺纹 |
1、见公制图纸； 2、 与Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接头和卡套转接头相兼容，也可以按照用户需求与VCR，SAE接头相兼容。 | |||
产品大图
型号列表
见“尺寸压损”。
气体编码
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
