探针式表面轮廓仪（台阶仪）

DektakXT

在各个领域完成重要数据的采集处理

薄膜监测 — 高效率的保证

对于半导体制造行业而言，及时监测镀膜膜厚和刻蚀速率的均匀性以及薄膜应力， 能节省宝贵的时间和金钱。不均匀的膜层或过大的应力，将导致差的优良率和不合格

的终端产品性能。 DektakXT 易于设定、测量快捷，通过不同位置的多点自动测量可确 认整片硅表面上薄膜的准确厚度，其精度可达纳米级别。 DektakXT 的测量重复性 为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以精确调节刻蚀和镀膜工艺来提  高产品的优良率。

混合电路的 DektakXT 3D 图像

DektakXT 可以可靠测量厚度小于 10nm 的薄膜

测量表面粗糙度 — 确保材料质量

在自动化，航空航天， 医药领域等各行各业，如果需要精确测量材料表面的粗糙度， DektakXT 是一个非常理想的检测仪器。比如在整形手术中需要植入的假体，在其背面   涂覆的羟基磷灰石，它的表面粗糙度会影响假体植入到体内后的黏附性和手术效果。使 用 DektakXT 快速检测材料表面的粗糙度， 可以获悉晶体材料的生长是否符合工程师的  要求，或者手术所需的植入体是否通过医学审核允许使用。使用 Vision64 软件中的数   据库功能，设定合格/淘汰条件，品管人员可以轻松确定植入体是否需要再加工还是定  为合格品。

人造膝关节背面羟基磷灰石涂层的表面粗糙度的 2D 扫描

太阳能电池栅线分析—— 降低生产成本

在太阳能领域，Dektak 已被作为测量单晶和多晶硅电池上主栅、 银线特征尺寸的首  选设备。 栅线的高度、宽度和连续性都直接影响了太阳能电池的能量传输能力。生产   过程中的方案是节约贵金属银的使用量，同时又保证银浆的量足够覆盖在电池板上， 完成的电导特性。 DektakXT 可使用线条分析功能为用户提供栅线的特征尺寸，以   确保足够的银浆覆盖，导电良好。 Vision64 的数据分析方法和自动操作功能使这一检验   核实的过程可以通过特定设置后自动完成。

太阳能电池栅线的 DektakXT 3D 图

DektakXT 追踪分析的特性可以自动提供导线的宽度，高度，面积和高 宽比，从而获得太阳能电池的光电转化效率。

微流体- 确保符合设计和质量要求

Dektak 是市场上可以测量敏感材质上高达 1mm 垂直台阶的台阶仪，而且测量重复 性在埃米级别。 DektakXT 为微机电系统和微流体工业的研究者提供了关键尺寸测量的可靠 手段，以确保器件符合规格要求。超微力测量， Nlite+，可以保证在测量敏感材质时轻触

其表面而不破坏样品表面，得到台阶高度或表面粗糙度数据。