电阻式热蒸发镀膜机-仪表网

公司介绍主营产品

北京中科科美科技股份有限公司是直属企业北京中科科仪股份有限公司的控股子公司，是专门从事真空系统集成产品设计、制造、销售和服务的国家企业，为客户提供真空系统整体解决方案和一站式服务，包括真空集成系统的总体设计、工程实施、设备安装、技术服务等。公司主营业务分为空间环境模拟装置、充气回收检漏系统、新能源真空应用系统和大科学工程真空配套四大类别。公司的客户行业涉及航空航天、新能源（太阳能和核能）、新兴装备制造、科研院所、大科学工程、工业镀膜、汽车制造、电子、低温、超导、电气检测等多个领域。公司拥有*的装备制造实力，通过了ISO质量管理体系和中核供应商体系认证，拥有3项发明及三十余项实用新型，曾参与：神光Ⅲ、北京高能同步辐射光源、特高压苏通GIL综合管廊工程、江门中微子探测等国家大科学工程项目的实施，在真空领域具有国内的技术实力。中科科美致力于发展成为国内、具有国际竞争力的真空系统集成整体解决方案供应商，实现与客户的共同成长！

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产品简介在线询价

该设备为高真空多用途电阻蒸发镀膜机，四对电极可单独或同时蒸发不同的材料。设备为立式顶开盖结构，四对电极可单独或共蒸发，样品Φ300（max），样品台公自转，公转转速2-20rpm可调；流量计控制气体流量，满足离子轰击压力要求。

电阻式热蒸发镀膜机产品详情

　　一、应用领域

　　该设备为高真空多用途电阻蒸发镀膜机，四对电极可单独或同时蒸发不同的材料。设备为立式顶开盖结构，四对电极可单独或共蒸发，样品Φ300(max)，样品台公自转，公转转速2-20rpm可调;流量计控制气体流量，满足离子轰击压力要求。

　　二、性能参数

　　1. 镀膜室尺寸：Φ450×500mm钟罩

　　2. 镀膜有效尺寸：Φ300mm

　　3. 离子轰击功率：0.6kW

　　4. 恢复真空抽气时间(min)：<30

　　5. 蒸发源数目：4对，带电动挡板;

　　6. 蒸发源功率：2kW (可选电流、电压控制);

　　7. 偏压、膜厚仪、薄膜规、样品台加热可选;

　　8. 工艺气体：MFC 1路;

关键词：镀膜机

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