多靶位立式磁控溅射镀膜机-仪表网

公司介绍主营产品

北京中科科美科技股份有限公司是直属企业北京中科科仪股份有限公司的控股子公司，是专门从事真空系统集成产品设计、制造、销售和服务的国家企业，为客户提供真空系统整体解决方案和一站式服务，包括真空集成系统的总体设计、工程实施、设备安装、技术服务等。公司主营业务分为空间环境模拟装置、充气回收检漏系统、新能源真空应用系统和大科学工程真空配套四大类别。公司的客户行业涉及航空航天、新能源（太阳能和核能）、新兴装备制造、科研院所、大科学工程、工业镀膜、汽车制造、电子、低温、超导、电气检测等多个领域。公司拥有*的装备制造实力，通过了ISO质量管理体系和中核供应商体系认证，拥有3项发明及三十余项实用新型，曾参与：神光Ⅲ、北京高能同步辐射光源、特高压苏通GIL综合管廊工程、江门中微子探测等国家大科学工程项目的实施，在真空领域具有国内的技术实力。中科科美致力于发展成为国内、具有国际竞争力的真空系统集成整体解决方案供应商，实现与客户的共同成长！

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该设备可沉积单金属、合金、及多种介质膜，多层膜；主要用于Φ150-Φ500轮毂型金属、非金属零件表面沉积各类功能膜（耐磨、防腐、导电膜、绝缘膜等）的研发和小批生产。

多靶位立式磁控溅射镀膜机产品详情

　　一、应用领域：

　　该设备可沉积单金属、合金、及多种介质膜，多层膜;主要用于Φ150-Φ500轮毂型金属、非金属零件表面沉积各类功能膜(耐磨、防腐、导电膜、绝缘膜等)的研发和小批生产。

　　二、性能参数

　　1. Φ1000x700水冷真空腔体，侧开门，样品架公自转;

　　2. 顶部和侧面布置有溅射靶位8个;

　　3. 6″直流靶6只，每只各配3KW直流电源1套;

　　4. 6″射频靶2只，各配1.5KW射频电源1套;

　　5. 系统配考夫曼离子源用于工件清洗;

　　6. 腔室可加热，加热温度300℃。

　　7. 极限真空：5x10^-4Pa。

关键词：直流电源

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