热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器RH被加热，另一个传感器RMG用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。
直接测量气体的质量，不需要温度、压力补偿的气体流量测量仪表，它代表了气体流量测量的发展趋势。热式气体质量流量计传感器部分由两个基准级铂电阻温度传感器组成，采用桥式环路，一个传感器测量流体温度，另一个传感器为加热元件，维持高于流体温度的恒温差，即气体流过加热元件时将热量带走，带走的热量与气体的流速和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热元件提供更多的功率，电路中输出功率的大小与流体的质量有关，由此测量流量。
热式气体质量流量计由一体式流量转换器、流量传感器组成。按流量传感器的型式分为：插入式和管段式热式气体质量流量计。
热式气体质量流量计应用1、氧气、氮气、氢气、氯气及多组分气体测量。（乙炔气体除外）。2、高炉煤气、焦炉煤气测量。 3、烟道气测量。4、沼气、水处理中的曝气和氯气测量。5、压缩空气测量。6、天然气、液化气、火炬气等气体流量测量。7、电厂高炉的一次风、二次风流量测量。8、矿井下通风或排风系统流量测量。
热式气体质量流量计特点:
1、测量气体质量流量，无需温度、压力补偿。
2、量程比大，测量流速范围：0.1Nm/s～100Nm/s。
3、无压力损失，适用已知截面积的任意形状管道。
4、耐腐蚀型传感器，适合测量腐蚀性气体。
5、全量程段的算法，特别适合大口径测量保证了测量的准确度，适于贸易结算。
6、可以出色的完成工艺管道的检漏及设备工作。
7、施工量小，由于采用插入式结构，可以在线安装和维护。
8、仪表可以就地显示和带报警控制。
管段式热式气体质量流量计技术参数：
| 性能 | 技术参数 |
| 测量介质 | 各种气体（乙炔气除外） |
| 管径范围 | DN10mm～2000mm |
| 流速范围 | 0.1Nm/s～100Nm/s(标况条件20℃，101.33KPa) |
| 准确度 | ±1% |
| 介质温度 | 常温：-20～+100℃ 高温：-20～+350℃ |
| 工作压力 | 4.0MPa |
| 供电电源 | 一体式转换器AC220V或DC24V1A;分体式转换器：AC220V |
| 响应速度 | 1秒 |
| 输出信号 | 4～20mA RS485 |
| 测量显示 | 质量流量、标况体积流量、累计流量、时间、累计运行时间 |
| 报 警 | 1-2路继电器结点：5A/AC220V、5A/DC30V自设定 |
| 传感器材质 | 1Cr18Ni9Ti、哈氏合金、钛、316L、铝、304不锈钢 |
| 探杆材质 | 1Cr18Ni9Ti、316L、304不锈钢 |
热式气体质量流量计选型：
（1）介质温度。热式气体质量流量计基于热扩散原理设计而成，流量计的探针是根据被测介质温度来决定探针加热温度的，一般探针加热温度比介质温度高50度。由此可以看出，流量计在正常测量时要求被测介质温度较为恒定，此时加热电流与介质流量成比例关系；
（2）介质成分。热式气体质量流量计几乎可测量所有单一气体介质（乙炔除外），但是在实际测量中有不少混合气体需要测量，此时选用热式气体质量流量计时，就对混合气体有要求。所有气体流量仪表标定时均用空气来作为被测介质，单一介质时可查得出标准的转换系数。然而混合气体需要根据现场时间被测介质成分百分比来折算转换系数，但是当测量时介质成分发生变化，则会增大流量计测量误差；
（3）压力。热式气体质量流量计不建议在高压工况环境下使用。热式测量的重要的一点就是介质的携热量，当现场的压力过高时，单位体积内介质的携热量很大，在压缩系统与反应速率的双重影响下，使得流量计的测量值将会小于实际使用时，因此建议热式气体质量流量计在4.0Mpa以内使用。
（4）高温。测量高温介质意味着传感器的耐温更高，同时测量高温介质时整机电路耗电功率增大，现阶段热式气体质量流量计可耐高温至400度，可满足绝大多数现场要求。
热式气体质量流量计安装要求及注意事项
（1）热式气体质量流量计安装直管段要求：
①流量计安装在带90°弯头管道下游，仪表上游至少20D，下游至少5D；
②流量计上游带T型管端，流量计上游至少40D，下游至少5D；
③流量计上游有同心扩管，仪表上游至少25D，下游至少5D；
④流量计安装在缩颈管后，流量计上游至少15D，下游至少5D；
⑤流量计上游安装有泵和阀，流量计上游至少50D，下游至少5D。
（2）热式气体质量流量计安装注意事项
①流体流向必须与传感器表体上的流向箭头保持一致；
②传感器两边的法兰必须保持平行，否则容易泄漏；
③流量计的电极输线必须近似水平，否则影响测量精度；
④传感器测量管在使用中被测介质必须保持满管状态；
⑥尽量避开铁磁性物体及具有强电磁场的设备，如大型电极、大变压器等，以避免外界磁场影响传感器的工作磁场和流量信号；
⑦安装环境要求：避免环境温度高于60℃及相对湿度大于95%；
⑧为避免在安装后形成漩涡流动，应保证工艺配管、密封件、流量计同轴连接不能错开；
⑨选择活动空间较大的管段安装，便于后期的维修；
⑩调节阀应安装在传感器的下游5D以外处，若必须安装，需安装在传感器上游，并保证传感器上游直管段不小于50D；
