| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 适用电池类型 | 230mm及以下尺寸，厚度100-220μm |
| 载物台控制 | 精密电缸精确控制，行程250mm x 250mm，带真空吸附，显微镜镜头辅助对准 |
| 测试范围 | 接触电阻率：0.1~120mΩ*cm*2； 线电阻测量范围：0.2~40Ω/cm； |
| 可测样品宽度 | 5-10mm |
| 恒流源 | 1mA-10mA |
| 电阻分辨率 | 1uΩ |
| 测量电流 | 10mA（开放可更换） |
| 测试重复性 | 静态测量≤1.5%，动态测量≤4%（动态：5次测试） |
| 测量压放控制 | 采用精密电动位移轴，程序智能控制探针下压量，控制精度高达5um |
| 测量方式 | 自动X、Y、Z方向 |
| 测量的点数 | 4-8 |
| 探针基本指标； | 材质：镀金探针； 探针直径：0.9mm； 探针压力：0.4~0.7N可调； 探针寿命：>100000次； 针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3%； 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm； |
| 探针间距 | 标配：1.1.0-1.2mm可调式探头 2.0.9mm固定式探头； 3.选配：其他规格可按需求定制 |
| 软件功能 | 1.测试数据分析存储功能 2.测量数据可导出Excell格式 3.测试数据可生成直方图 |
