常规属性
系统描述：对振动不敏感的泰曼格林型动态相移干涉仪
采集模式：采用相位相关探测器的瞬时相移式
核心技术：相移干涉技术（PSI）
光源：稳频HeNe@632.8nm；可选波长 532nm
相干长度：>100m
光束直径：7mm
偏振态：圆偏光
相机像素：2000×2000pixels， 12bit
外形尺寸：测量头：<38.9 x 15.7 x 9.1 cm
激光器： 58.9 x 24.1 x 14.0 cm
重量： 测量头：< 4.5 kg
激光器：< 12.5 kg
系统性能
采集速率：>10帧/秒 （实时显示）
>15帧/秒 (后处理）
最小曝光时间：35微秒
样品反射率：1-99% （无需衰减）
RMS重复性：<0.001wave*
RMS精度：<0.002wave**
*采用10个数据RMS值的1σ方差作为结果；每个数据是16次测试的平均
**采用10个数据，每个数据是16次测试的平均；以这10个数据的平均值作为参考值；以每一个数据与参考值的差来计算RMS平均作为结果
配置选项
扩束器：Φ50mm, Φ100mm，Φ300mm
球面扩束镜头：F/1 to F/32；可定制 F/35, F/40, F/50
反射参考镜： NA0.06， NA0.1， NA0.4， NA0.7
