常规属性
系统描述：对振动不敏感的泰曼格林型动态相移干涉仪
采集模式：采用相位相关探测器的瞬时相移式
核心技术：空间相移干涉技术（PSI）
光源：稳频HeNe@632.8nm；可选532nm, 1053nm或1064nm
相干长度：>100 m
光束直径：7 mm
偏振态：圆偏光
相机像素：2000×2000pixels， 12bit
外形尺寸：测量头：<18.0×16.2×9.1cm
激光器：48.3×20.3×11.9cm
系统性能
采集速率：>10帧/秒 显示；4副干涉图/帧
>12帧/秒 数据采集带后数据处理
最小曝光时间：35微秒
样品反射率：1-99% （无需衰减）
RMS重复性：<0.001wave
RMS精度：<0.002wave
配置选项
扩束器：Φ50mm, Φ100mm, Φ300mm
球面扩束镜头：F/1 to F/32；可定制 F/35, F/40, F/50
球面反射参考镜：NA0.06，NA0.1，NA0.4， NA0.7
