北京东方晨景科技有限公司提供的三维磁场探针台，采用无磁材料制成，三对类亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间三维磁场，线圈采用水冷结构，并且配备有线圈过热保护装置，可以长时间稳定工作。通过软件或者电源前面板控制每一维上的输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。
三维磁场探针台和东方晨景自主研发的高精度双极性电源相匹配，通过真正的双极性电源输出，实现了空间任意方向上的矢量场合成.
三维磁场探针台参数
◆ X轴线圈外径：640mm
◆ Y轴线圈外径：470mm
◆ Z轴线圈外径：260mm
◆ X轴线圈间距：240mm
◆ Y轴线圈间距：126mm
◆ Z轴线圈间距：100mm
◆ X轴线圈电流：≤14A
◆ Y轴线圈电流：≤14A
◆ Z轴线圈电流：≤14A
◆ X轴中心磁场：≥300Gs
◆ Y轴中心磁场：≥300Gs
◆ Z轴中心磁场：≥300Gs
◆ X轴均匀度（Φ20球体）：0.1%
◆ Y轴均匀度（Φ20球体）：0.07%
◆ Z轴均匀度（Φ20球体）：0.5%
◆ 线圈冷却形式：水冷
◆ 线圈工作温度：＜60℃
◆ 总重量：约330㎏
样品台参数
◆ 样品台直径：102mm(可更换)
◆ X方向行程：±51mm
◆ Y方向行程：±51mm
◆ 旋转角度：360°
◆ 旋转精度：0.1°
◆ 材料：无磁
探针座参数
◆ X向行程：±6mm
◆ Y向行程：±6mm
◆ Z向行程：±6mm
◆ 分辨率：20μm
◆ 三围尺寸：38W*62D*54H
◆ 重量：200克
注：探针座可选
探针参数
◆ 长度：38mm
◆ 直径：0.51mm
◆ 针尖直径：10μm
◆ 材料：钨
注：探针可选
显微镜参数
◆ 成像元件：CMOS
◆ 成像原件像素：1000万
◆ 有效像素：1280*1024
◆ 连续变倍：6X-600X
◆ 视场范围：3.5mm-35mm
◆ 调焦范围：65mm
◆ 镜头直径：50mm
◆ 最小分辨率：1微米
◆ 十字光标：4组
◆ 输出视频：VGA
◆ 显示器：19寸LCD
注：显微镜可选
