产品简介
FluxDancer半导体参数分析仪是由Oriental Spectra精心打造的高精度测试设备，专为测量和分析半导体器件的电学特性而设计。这款仪器融合了众多前沿测量技术，包括电源、电压表、电流表、LCR表和开关矩阵等，使其能够执行电流-电压（IV）和电容-电压（CV）测量，以及快速脉冲IV测量等多种测试。
FluxDancer在于其对测试精度和分辨率的追求。它不仅能够提供精确的IV和CV表征，而且广泛应用于半导体研发、工艺制程开发、器件可靠性测试和光电器件测试等领域。与传统的多仪器组合相比，FluxDancer的集成设计确保了更高的测量精度和分辨率。
在技术规格上，FluxDancer展现了其性能。它支持广泛的电压和电流测量范围，具备高的精度和灵敏度，能够检测到低至飞安级别的微小电流，并能够进行高达兆赫兹频率的CV测量。此外，FluxDancer还具备强大的数据处理能力，可以在测试后立即进行器件特性分析，支持多种数据保存方式，便于用户进行后续的分析研究或直接导入建模软件进行模型提取和特性分析。
FluxDancer的适用性非常广泛，能够适应各种扩展性的测试场景。例如，它可以与高低温恒温器耦合，进行变温器件性能测试；与显微测试系统耦合，进行微纳器件测试；与手套箱测试耦合，实现测试过程的惰性气体保护；与真空发生器测试耦合，实现真空测试；与磁学部件耦合，检测磁场影响下的电学性能;与晶圆测试平台耦合，实现对晶圆及后续半导体模组的电学测试等。
FluxDancer半导体参数分析仪是半导体行业中的高精度测试工具，它以性能和广泛的应用范围，为科研人员和工程师提供了一个可靠的测量平台，助力用户在半导体领域的探索与创新。
产品特点
□ 电流-电压（IV）、电容-电压（CV）、脉冲IV测试等全面功能；
□ 高精度和高分辨率的测量能力；
□ 快速测量和分析，支持多种测量模式；
□ 模块化设计，易于升级和扩展：配置＞10个插槽，支持吸收电流至4A；
□ 适用器件、材料，有源/无源元器件等类型的电子器件；
□ 直观的用户界面，简化操作流程；
□ 支持自动化测试和数据分析。
产品应用
□ 新型半导体
□ 二极管
□ CMOS 晶体管
□ 双极晶体管（BJT）
□ 分立器件
□ 存储器
□ 功率器件
□ 光子检测器件
□ 太阳能电池
□ 发光二极管器件
□ 薄膜晶体管
□ 二维材料
□ EMS
□ 传感器
□ 纳米器件
功能参数
| 规格配置 | 主要技术指标 | |||
| I-V 源测量单元 (SMU) | 大功率SMU |
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| 中等功率直流SMU |
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| 小功率直流SMU |
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| 支持源表数量 |
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| 前置放大 |
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| C-V 多频率电容单元 (CVU) |
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| 脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU) |
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| 高压脉冲发生器单元 (PGU) |
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| I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV) |
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| 1/f噪声测试模块（FNU） |
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| 电气输入 |
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| 软件系统 | ||||
| 软件 |
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