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  • 晶圆搬送机AL120-12

晶圆搬送机AL120-12

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面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号
  • 品牌
  • 所在地广州市
  • 更新时间2025-03-17
  • 厂商性质其他
  • 所在地区广州市
  • 实名认证已认证
  • 产品数量33
  • 人气值147
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广州元升科技有限公司 创建于2001年8月8日,致力于为客户提供高效的工业检测解决方案。主营 奥林巴斯工业显微镜及无损检测设备、日立电子扫描显微镜、日立超声波影像仪、自动测量设备、AOI自动检查设备、显微镜前处理制样设备等。公司作为奥林巴斯工业显微镜华南地区一级代理商、日立电子扫描显微镜华南地区专业代理商,近年来更是大力进军自动测量与检查领域,拥有一支高水平的销售和售后服务团队。总部设在广州,其中香港、厦门、福州、广西、海南等设有分公司或办事处。经过十多年的不懈努力,已成为众多企业、高校、研究单位优质供应商与合作伙伴,在电子、汽车、能源、金属材料、机械加工、化工、地质等领域积累了丰富的检测经验。
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AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,适用于低成本的后期检查
晶圆搬送机AL120-12 产品详情

AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。

人机工程学设计,操作方便

  • 可以自由设置的检查模式,在设计上考虑了后道工程中的操作性,尤为重视设备的操作简便性。
  • 分别对应FOUP(Load Port)和FOSB的两种机型。

坚固、可靠和安全传送

  • 延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性,能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
  • 薄片,Warped晶圆皆能安全搬送。
  • 宏观观察位置的化和操作单元的集中排列,提高了设备的操作舒适性。
自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格
AL120-LMB12-LP3 AL120-LMB12-F
晶圆尺寸 300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可选:200 mm
卡盒 ●FOUP(Front Opening Unified Pods)前开门标准夹 
●SEMI:E47.1-0200规格产品 
●FIMS-FOSB, FOSB
●FOSB(Front Opening Shipping Box)前开门搬运盒 
●SEMI:M31-0999规格产品
卡盒数 单盒(装载、卸载兼用)
卡盒设置高度 900 mm
装载端口
搬运顺序 表面宏、内面宏、显微镜检查
检查模式 全部检查、抽样检查
晶圆校准 非接触式中心环
晶圆搬运方式 真空吸附机械搬运
适用显微镜 半导体检查显微镜MX61L
应用环境 AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 
真空-67~-80 Kpa 
压缩空气0.5MPa~0.6MPa
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 
真空-67~-80 Kpa
载物台 XY手动吸附载物台,有XY粗调/微调和360度旋转机构
重量(不包括显微镜) 约360 kg 约270 kg
关键词:标准 显微镜
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产品名称参考价地区公司名称更新时间 
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