说明
PTR 90 N PENNINGVAC 系列真空变送器可提供从 1×10-8 毫巴到 1000 毫巴的较大测量范围，基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性和冷阴极 (CC) 电离电流的测量结果。
配备 RS232 数字通信接口 (P/N: 230088V02) 或 EtherCAT 数字通信接口 (P/N: 230089V02) 的变送器版本可设置变送器参数，并可提供实时压力测量结果。更多详情，请参阅通信协议 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配备集成式触屏显示器 (P/N: 2300085V02) 的变送器版本能够监控基本的变送器参数。更多详情，请参阅第 6.4 章。
每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外，每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。
这些变送器用途广泛，可用作独立装置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 PENNINGVAC 变送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
变送器拥有多达三个机械继电器，这些继电器可用于过程控制，例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备，获取压力读数，或进行压力控制。
传感器技术
变送器含有两个独立的传感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统)) 传感器元件基于热传导性的测量结果。MEMS Pirani 传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片，其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状，空腔内无法进行对流，因此，传感器对安装位置并不敏感。通过扩散，气体分子只到达热元件，在此处可测量气体的热损耗。
冷阴极反磁控管采用高电压阳极、阴极和永磁体。电子向阳极加速，并将通过碰撞而使分子离子化。磁场使电子偏转，从而使电子在穿过磁场前往阳极时做螺旋形移动。这种螺旋运动增大了电子遇到分子并使分子离子化的机会。
分子离子化产生电流，该电流是压力的函数。这两个传感器元件均极为坚固耐用，可承受较高重力和瞬间空气涌入。
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应用
变送器可用于众多不同领域的真空应用中，如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:
· 一般真空压力测量
· 气体回填测量和控制
· 涂料
· 质谱仪控制
· 系统过程控制
· 检测异常压力，利用设定点继电器采取妥当的安全措施
· 控制系统压力
测量原理: | 依据 MEMS Pirani 传感器的热传导性 | |||
冷阴极离子化电流 | ||||
测量范围 (N2 和空气): | 1×10-8 至 1000 毫巴 | |||
精确度 (1) (N2): | 1×10-8 至 1x10-3 毫巴 (CC): | 误差是读数的 ±30% | ||
1×10-4 至 1x10-3 毫巴 (MP): | 误差是读数的 ±10% | |||
1×10-3 至 100 毫巴 (MP): | 误差是读数的 ±5% | |||
100 至 1000 毫巴 (MP): | 误差是读数的 ±25% | |||
重复性 (1) (N2): | 1×10-3 至 100 毫巴: | 误差是读数的 ±2% | ||
电源电压: | 9-30 伏直流 | |||
功耗: | < 2 瓦 | |||
熔丝 (热可恢复): | 200 毫安 | |||
模拟输出 (100 欧阻抗): | 2-8.6 伏直流，Log. 0.6 伏直流/十进制 | |||
模拟输出分辨率: | 16 位 | |||
模拟输出更新率: | 16 赫兹 | |||
传感器故障模拟输出 (Pirani): | 10 伏直流 | |||
材料暴露于真空 (2): | 304 号不锈钢、密封材料 FPM | |||
机械设定点继电器: | ||||
P/N: 230070V02、230071V02、230072V02、230085V02: | 0 | |||
P/N: 230088V02: | 3 | |||
设定点继电器范围: | 1×10-8 至 1000 毫巴 | |||
设定点继电器触点额定值: | 1 安/30 伏直流/交流 (电阻性负载) | |||
设定点继电器触点电阻: | 100 毫欧 (值) | |||
设定点继电器响应时间: | <100 毫秒 | |||
设定点继电器触点耐久性: | 100000 循环 (最小值) (30 伏直流/1 安负载) | |||
设定点继电器触点耐久性: | 2000000 循环 (最小值) (30 伏直流/0.2 安负载) | |||
软件设定点继电器: | ||||
P/N: 230089V02: | 2 | |||
设定点继电器响应时间: | < 20 毫秒 | |||
内部容积: | KF25 | 28.6 厘米3 | ||
KF40 | 21.7 厘米3 | |||
CF46 | 32.7 厘米3 | |||
外壳材质: | 304 号不锈钢 | |||
重量: | ||||
P/N: 230070V02、230088V02: | 321 克 | |||
P/N: 230089V02: | 600 克 | |||
P/N: 230085V02: | 550 克 | |||
P/N: 230071V02: | 358 克 | |||
P/N: 230072V02: | 576 克 | |||
允许压力: | 6 巴 | |||
运行温度: | 0 至 40 °C (32 至 104 °F) | |||
烘烤温度 (电源关闭): | 85 °C (185 °F) | |||
灯丝温度: | 超过室温 35 °C | |||
异物防护等级: | IP40 | |||
泄漏速率: | < 5∙0-9 毫巴∙升/秒 | |||
零件 |
产品号 |
PTR 90 N，DN25 KF | 230070V02 |
PTR 90 N，DN25 KF；Display | 230085V02 |
PTR 90 N，DN40 KF | 230071V02 |
PTR 90 N，DN40 CF | 230072V02 |
PTR 90 N，DN25 KF，RS232，3SP | 230088V02 |
PTR 90 N，DN25 KF，EtherCAT | 230089V02 |
阴极替换片 PTR 90 N / PTR225 N* | EK16291V02 |
阳极替换环 PTR 90 N / PTR 225 N** | V02 |
Display 1 | 230001 |
Display 2 | 230024 |
Display 3 | 230025 |
Graphix 1 | 230680V01 |
Graphix 2 | 230681V01 |
Graphix 3 | 230682V01 |
A 型电缆，5 米 | 12426 |
A 型电缆，10 米 | 230012 |
A 型电缆，15 米 | 12427 |
A 型电缆，20 米 | 12428 |
A 型电缆，30 米 | 12429 |
A 型电缆，50 米 | 12431 |
A 型电缆，75 米 | 12432 |
A 型电缆，100 米 | 12433 |
螺旋管 DN 25 ISO-KF | 230083 |
螺旋管 DN 40 ISO-KF | 230084 |
定心环 (1.4305 号不锈钢)，含 O 型环 | 88374 |
定心环 (不锈钢)，含烧结金属过滤器 | 88352 |
卡环 (铝) | 210043 |
隔板，含定心环 (FPM) | 230078 |
