高性能聚焦离子束系统 MI4050-仪表网

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MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统：新型电子光学系统，可达到高水准的SIM像分辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了低加速电压的分辨率，使得高品质TEM样品制备成为可能可用于截面加工观察，高品质TEM样品制备，电路修复，Vector Scan加工，微纳米级微细图形及磨具加工，利用沉积功能制作3维构造等众多样品加工应用。

高性能聚焦离子束系统 MI4050 产品详情

概述

产品参数

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统：新型电子光学系统，可达到高水准的SIM像分辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了低加速电压的分辨率，使得高品质TEM样品制备成为可能
可用于截面加工观察，高品质TEM样品制备，电路修复，Vector Scan加工，微纳米级微细图形及磨具加工，利用沉积功能制作3维构造等众多样品加工应用。

产品参数

项目	内容
样品尺寸	50mm×50mm×12mm（t）以下
样品台	5轴电动机械优中心马达台
加速电压	1～30kV　（0.5kV～　选配）（0.5～1.0kV ：步长0.1kV）（1.0～2.0kV ：步长0.2kV）
二次电子分辨率	4nm＠30kV
探针电流	90nA
探针电流密度	50A/cm2

关键词：电动机

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