微流量气体流量计MFC330 系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出口气压波动,MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。
- 介质要求洁净干燥气体
- 气体种类98+气体可选
- 量程0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm - 测量范围0.5%F.S.(1:200)
- 控制范围1%-1 00% FS.(1:100)
- 准确度±1% F.S.
- 重复精度±0.2%F.S.
- 线性度±0.2%F.S.
- 控制响应时间<3 秒
- 预热时间5 min(T95),30 分钟
- 阀门常闭式