金属密封热式质量流量控制器和仪表-仪表网

公司介绍主营产品

成立于2004年总部位于广东珠海珠海信科自动化设备有限公司成立于2004年，总部位于广东珠海，公司拥有一支“讲信用、有耐心、重责任、细管理、强服务、善沟通”的销售团队，公司自成立以来一直致力于推动中国自动化事业的发展。在快速变化的市场环境中我们始终秉承着“服务于客户，让利于客户”的宗旨，我们还与珠海企业TDK（爱科）公司、伟创力等公司结合成合作伙伴关系，我们的产品是产品、我公司经销品牌有ABB低压、OMRON、西门子、奶似的、SMC小金井等。主要为自动化行业提供传感器、中间继电器、工业视觉、编程器、编码器、定时器、计数器、温控器、变频器、触摸屏、步进电机、电动滑台、气缸、接头、电磁阀、液位开关、限位开关等产品。为家电行业、通信领域、仪器、仪表、消防报警、电力及自动化控制设备等提供生产配套所需，同时为客户提供完整解决方案。以客户为中心以市场为导向公司的业绩和规模因此得到了不断的增长和扩大，在专业市场已居于主导地位。"售后服务流动车”，每天轮流到各个用户单位回访、保养、维护，为每一位客户提供及时周到的售后服务;确保耗材和配件的长期供应。始终坚持“精挑细选，薄利多销”的经营理念，诚信、亲切、务实”的企业精神，以喜户为中心、以市场为导向;以服务求信誉，以真诚求信任做好份内工作，努力为客户提供优质服务。感谢广大客户长期以来对信科的支持与信任!我们将在此基础上用心做得更好。

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MFC型号GF125/GF126GF125系列产品是第二代多变量压力变化补偿型(PTI)金属密封质量流量控制器和仪表，有着超快的响应速度和超高的纯度

金属密封热式质量流量控制器和仪表产品详情

MFC

型号 GF125 / GF126

GF125 系列产品是第二代多变量压力变化补偿型 (PTI) 金属密封质量流量控制器和仪表，有着超快的响应速度和超高的纯度。作为个将 PTI 质量流量控制技术引入市场的 GF125 系列产品限度降低了压力和温度波动导致的过程气体流量变化。一台采用标准 MultiFlo™ 技术的 MFC 即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度。

结果：降低了气体显示屏尺寸和成本，这得益于省去了压力调节器、压力传感器和相关硬件的使用并辅以行业的 PTI 性能以限度提高产率和生产效率。

概述

特点

长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%ar
稳定时间极短：300 ms - <700>
满量程流速高达 300 slpm
超高纯度流路 - 4µ 英寸 Ra 表面处理
符合 SEMI F20 标准的接液材料
采用高速 ARM 处理器的耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器
可进行快速反应的无隔膜阀组件不受压差影响，并且测试表明产品经七百万次循环
MultiFlo™ 技术拥有的灵活性 — 一台设备经编程设定后即可满足数千种不同气体和流量测量范围配置的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
本地显示屏可指示流量、温度、压力和网络地址以便于轻松解决供气和隔离阀故障问题
DeviceNet™、RS-485 L-协议和模拟接口

优势

GF125 系列产品通过将布鲁克斯仪器的流量传感器技术与能够进行快速反应的无隔膜阀组件相结合，可将响应速度和稳定速度较之其他质量流量控制器提高 3 倍。
经优化的接液流路，可提升干燥效果
MultiFloTM 技术可实现 MFC 流量测定量程的重新设定，通常是按 3:1 下调并且不影响精度，量程比或内漏率，以提供的工艺和库存灵活性
全面的气体数据库为您提供泛的气体保护信息
压力变化补偿 (PTI) 功能能够克服传统 MFC 的限制（受进气压力波动影响明显）。产品效果表明其性能稳定并且可达到预期精度。
便捷的用户显示屏和独立的诊断/维护端口有助于设备安装、监测和故障排除

关键应用

半导体
MOCVD（金属有机化学气相沉积）
要求使用高纯度全金属流路的气体流量控制应用

便捷的维护端口

轻松进行诊断和故障排除
不影响工具通信

用户界面

轻松安装、启动和操作

机械耦合阀

耐腐蚀全金属阀
采用无隔膜设计并且不受压差影响
高速吹扫功能
测试表明产品经四百万次循环

压力传感器

不受输送压力扰动或波动影响的稳定流量控制

第二代温升传感器

出色的长期稳定性（<+0.5%>
提高了信噪比
高速吹扫功能
可在较低温度下工作，适用于易发生热分解的气体

温度传感器

可在全温度范围内进行准确的流量和温度测量
实时补偿环境温度波动，实现准确的气体化学控制

型号

GF125	GF126
区别	Ultra-High Purity Ultra-Fast Response Time Pressure Transient Insensitivity	High Flow Rate
流量范围-满量程容量	3 sccm - 55 slm	55 slm - 300 slm
表面抛光	4µ inch Ra	4µ inch Ra
精度	±1% S.P. > 35-99% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 35-99% ±0.35% F.S. 2-35%
重复性	< ±0.15%="">	< ±0.15%="">
响应时间-常闭	Normally Closed Valve 300ms (3-860 sccm N2 Eq.) 400ms (861-7200 sccm N2 Eq.) 500ms (7201-30000 sccm N2 Eq.) <700ms (30001-55000="" sccm="" n2="">	Normally Closed Valve <1>
响应时间-常开	Normally Open Valve <1.5>	Normally Open Valve —
多气体多量程	MultiFlo™ Standard	MultiFlo™ Standard
瞬时压力波动不敏感	±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike	Ability to measure inlet pressure
诊断能力	Status Lights - MFC Health, Network Status Alarms - Control Valve Output, Network Interruption	Status Lights: MFC Health & Network Status Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
模拟通讯	0-5 Vdc	0-5 Vdc
数字通讯	RS485 L Protocol DeviceNet™	RS485 L Protocol DeviceNet™

规格

产品类型

Mass Flow Controller

区别

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

性能

流量范围-满量程容量

3 sccm - 300 slm

精度

±1% S.P. > 35-99%

±0.35% F. S. 2-35%

重复性

< ±0.15%="">

线性

±0.5% F.S. (included in accuracy)

响应时间-常闭

300ms - < 1="">

响应时间-常开

Normally Open Valve: <1.5>

(specific models only)

多气体多量程

MultiFlo™ Standard (most models)

瞬时压力波动不敏感

<5% s.p.="" for up="" to="" 5="" psi/sec="" upstream="" press.="">

控制范围

< 5="" -="">

Bin的数量

Standard GF Series: 11 bins

High Flow GF Series: 4 bins

阀门关闭

< 2%="">

零点稳定性

< ±0.5%="" f.s.="" per="">

温度系数

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

机械

密封材料

Metal

纯净等级

4 - 5µ inch Ra

接液材料

SEMI F20 HP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

阀门

Normally Closed

Normally Open (specific models)

Meter (no valve)

等级

温度

50oC

压差范围

3-860 sccm = 7-45 psid

861 - 7200 sccm = 10 - 45 psid

7201 - 55000 sccm = 15 - 45 psid

51 - 300 slm = 30 - 90 psid

*Typical pressure drops. Contacts Brooks Technical Support for more information.

压力

Standard GF Series: 100 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

漏率

1x10-10 atm cc/sec He

诊断和显示

诊断能力

Available

状态灯

MFC Health

Network Status

报警

Control Valve Output

Network Interruption

诊断/服务端口

RS485 via 2.5mm jack (all models)

显示

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

电气

模拟通讯

0-5 Vdc

数字通讯

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

电气连接

Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.

电源-功耗

Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

承诺

电磁兼容性

EC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

符合环保要求

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

文档

Filename	File Type	Documents By Language
Data Sheet - GF125	pdf	English Japanese
Data Sheet - GF126	pdf	English
Installation & Operation Manual	pdf	English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series	pdf	English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series	pdf	English

CAD Drawings

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF125 - WX (Fitting) - GX (Connector) - STEP

Model Series	Fitting	Connector	File Type
GF1xx	AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50)	BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base	STEP
	CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal	*DX - DeviceNet™ 5 pin micro
	VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male	EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base
	WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal	GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation
		G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)
		SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)

Filename	File Type
GF100-GF120-GF125-AS-G1	STEP
GF100-GF120-GF125-AS-SX	DXF
GF100-GF120-GF125-AS-SX	IGS
GF100-GF120-GF125-AS-SX	STEP
GF100-GF120-GF125-AX-G1	STEP
GF100-GF120-GF125-AX-G1	IGS
GF100-GF120-GF125-CX-DX	STEP
GF100-GF120-GF125-CX-SX	DXF
GF100-GF120-GF125-CX-SX	STEP
GF100-GF120-GF125-CX-TX	STEP
GF100-GF120-GF125-CX-TX	IGS
GF100-GF120-GF125-CX-TX	DXF
GF100-GF120-GF125-DX-DX	DXF
GF100-GF120-GF125-DX-DX	IGS
GF100-GF120-GF125-DX-DX	STEP
GF100-GF120-GF125-DX-TX	DXF
GF100-GF120-GF125-DX-TX	IGS
GF100-GF120-GF125-DX-TX	STEP
GF100-GF120-GF125-VS-SX	STEP
GF100-GF120-GF125-VS-SX	IGS
GF100-GF120-GF125-VS-SX	DXF
GF100-GF120-GF125-VX-BX	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-DX	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-E0	DXF
GF100-GF120-GF125-VX-E0	IGS
GF100-GF120-GF125-VX-E0	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-EX	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-G1-STEP	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-GX-STEP	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-SX-STEP	STEP
GF100-GF120-GF125-WX-GX-STEP	STEP
GF101-GF121-GF126-V1-D0	DXF
GF101-GF121-GF126-V1-D0	IGS
GF101-GF121-GF126-V1-D0	STEP
GF101-GF121-GF126-V1-DX	DXF
GF101-GF121-GF126-V1-DX	IGS
GF101-GF121-GF126-V1-DX	STEP
GF101-GF121-GF126-V1-E0	DXF
GF101-GF121-GF126-V1-E0	IGS
GF101-GF121-GF126-V1-E0	STEP
GF101-GF121-GF126-V1-G1	DXF
GF101-GF121-GF126-V1-G1	IGS
GF101-GF121-GF126-V1-G1	STEP
GF101-GF121-GF126-V2-G1	DXF
GF101-GF121-GF126-V2-G1	IGS
GF101-GF121-GF126-V2-G1	STEP
GF101-GF121-GF126-V2-SX	DXF
GF101-GF121-GF126-V2-SX	IGS
GF101-GF121-GF126-V2-SX	STEP

附件和软件

0250 读数应用

Controls and powers up to 4 devices

MultiFlo™ 配置器

A comprehensive gas database enabling you to configure your MultiFlo™ capable MFC for thousands of gas types and ranges without removing it from the gas line.

关键词：质量流量控制器仪表标准显示屏调节器

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