型号 | 行程范围 mm | 精度指标 μm | 主机外型尺寸 mm | 产品净重 | 被测产品重量 | |||||||
X | Y | Z | E(μm) | R(μm) | Lx | Ly | Lz | kg | kg | |||
CMC 564 | 500 | 600 | 400 | 2.1+3.3L/1000 | 2.2 | 1350 | 1550 | 2350 | 1400 | 500 |
过滤精度(Filter Accuracy):0.3μm 空气流量(Air Supply):0.12m3/min
温度范围(Temperature Range):18-22℃ 温度变化(Hourly Temperature Cycle):1℃/h
温度梯度(Thermal Gradient):1℃/m 湿度范围(Relative Humidity):55%-65%