半导体检查显微镜200mm/300mm晶圆FPD检查显微镜
• 大型载物台搭载: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圆全面检查
• 采用高NA的透射光聚光镜, 图像更锐利
• 多种观察方式 多种照明方式 多种附件以满足不同应用要求
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| HRM300L透反射半导体检测显微镜 |
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| HRM300L-M反射光半导体检测显微镜 |
HRM300L/HRM300L-M详细规格:
| 光学系统 | 无限远校正光学系统 | ||
| 显微镜镜体 | 照明装置 | 反射/透射光∶内置12V、100W光源，备有光量预设开关、电压LED指示灯、反射/透射光转换开关(HRM300L)。 反射光∶内置12V、100W光源，备有光量预设开关、电压LED指示灯(HRM300L-M) | |
| 调焦 | 行程范围：29.5毫米粗调：17.7毫米/转，微调：0.1毫米/转（1 um刻度），可设粗调上限停止位置，粗调旋钮张力可调 | ||
| 标本高度 | 29.5mm | ||
| 反射光照明装置 | 明视场等观察法 | 100W卤素灯(可安装高亮度光源、光纤照明装置)。可用于明视野法微分干涉衬比法/简易偏振光法，配备视场光阑和孔径光阑(可调中)以及明视野法联动的中性密度滤色镜。 | |
| 暗视野观察法 | 暗视野法 | ||
| 透射光照明装置 | 100W卤素灯，配备阿贝/长工作距离聚光镜， 内置透射光滤色镜(LBD、ND25、ND6)(BX51) | ||
| 观察镜筒 | 超过宽视野F.N.25 | 正象∶三目镜筒HM-WETR：正象型（FN 25），倾斜角为20° | |
| 换镜转盘 | 明视野法用 | 五孔带DIC插孔转盘 | |
| 明/暗视野法用 | 五孔带DIC插孔转盘 | ||
| 载物台 | 1.HRM300L透反射半导体显微镜配置载物台为日本奥林巴斯载物台（原MX61L用）： MX-SIC1412R2 14英寸×12英寸 行程：356×305mm （透射光照明面积：356×284mm） 2.HMR300L-M反射光半导体显微镜配置载物台为德国载物台：EK300：; 尺寸572（W）X 400（D）mm; 行程:305(X)X305(Y)mm; | ||
