纳米模块 NH
随着纳米科技和薄膜技术的发展（太阳能电池，cvd、pvd、dlc、MEMS等），纳米尺度的机械性能测试趋向标准化。纳米机械性能测试在传统测试基础上有了很大改进，通过设计高宽径比的探针测试更深更窄的沟槽，还实现低载荷，高空间分辨以及原位载荷-位移数据测量。
纳米压痕 — 参照ISO14577标准，选取单点/多点压痕来测量薄膜、涂层和块体材料的硬度、杨氏模量、张力、应力（冯米塞斯应力，von Mises stresses）和接触强度/刚度等。
纳米划痕 – 在接触模式下，可根据用户自定义不断增加载荷，检测薄膜、涂层和块体材料的划痕硬度和划痕黏附力。
动态压痕 - 通过探针动态测量方法，检测随深度变化的损失模量以及存储模量。
微米模块 MH
微米机械性能测试已经被应用于检测涂层和块体材料的各种机械性能。微米机械性能测试仪胜于传统测试方法，可以提供原位载荷-位移数据、应用例如声学发射检测、ECR、摩擦检测等信号来获得综合机械性能信息。
仪器化微米压痕检测——参照ISO14577标准，在毫米尺度（应用超过2牛的载荷）以及微米尺度（低于2牛的载荷）下检测涂层和块体材料的硬度、杨氏模量、张力、应力（冯米塞斯应力，von Mises stresses）和接触强度/刚度等。
传统维氏硬度和努普硬度参照ASTM E384.99标准，测量材料的显微硬度。
微米划痕—在接触的模式下，可根据用户自定义不断增加载荷，检测薄膜、涂层和块体材料的划痕硬度和划痕黏附力。
