日本ORC 分体式紫外线照度光量计
本设备为日本 ORC 奥克制作所 UV-M03A 分体式紫外线照度光量计，由显示主机搭配可互换受光探头组成，同步采集紫外实时辐照度与累积曝光光量，主要适配高压汞灯光源管控。可依据光刻胶感光波段自由更换不同规格探头，覆盖深紫外清洗、标准光刻、长波油墨固化多种工况。机身小型轻量化，探头与主机分离布局，方便伸入曝光机腔体狭小区域开展原位测量。
日本ORC 分体式紫外线照度光量计
基础核心参数
工作原理：受光探头接收紫外辐射转化为电信号，主机运算输出实时照度与累积曝光能量数值；设备输出信号支持外接系统存储方案，导出报表用于光电工艺复盘。
型号：UV-M03A（需搭配 UV-SN/UV-SD 系列受光探头使用）
测量项目：紫外辐照度、累积紫外光量
可选探头波段：UV25 深紫外波段、UV35 标准光刻波段、UV42 长波固化波段
量程范围：照度 0.001～50mW/cm²；光量 0.001～19999mJ/cm²
信号输出：RS232 数字通讯、模拟电压输出，适配电脑与记录设备
运行功能：自动量程、光量一键清零、数据保持、自动关机
供电形式：五号干电池便携使用，可选外接电源长期连续监测
结构形式：主机与探头分体式，搭配不同长度信号线缆灵活布设
使用环境：0～60℃，湿度稳定无大量凝露，无尘曝光车间、光学研发质检工位
日本ORC 分体式紫外线照度光量计
核心功能特点
模块化可替换探头，一套主机覆盖多条产线不同波段光源检测，降低仪器采购成本。
实时照度与累积能量同步显示，一次测量同时获取两项关键制程管控指标。
分体式传感布局，细长线缆搭配小型探头，消除曝光机内部空间狭小带来的测量盲区。
测量精度稳定，复测一致性优良，适合建立光源点检标准，追踪灯管长期衰减趋势。
双路信号输出方案，既可现场人工读数，也能接入外部设备实现长时间连续记录。
自动量程智能切换，无需人工调整档位，高低照度工况均可顺畅测量。
整机体积小巧重量轻便，操作人员手持巡回点检不易疲劳，适配多台曝光机集中普查。
探头光学结构匹配传统汞灯光谱特性，贴合 PCB、半导体行业成熟曝光工艺检测标准。
简易操作逻辑，基础培训后工作人员可独立完成取样、读数、数据记录整套流程。
完整光电制程质控台账留存，紫外光源巡检记录可回溯，曝光工艺验证、灯管更换评估项目验收可直接调取管控记录。
适用场景
PCB 制造行业：内外层线路曝光、阻焊油墨固化汞灯照度与能量定期点检。
半导体工位：晶圆光刻设备光源监测，管控曝光能量波动，保障图形转移精度。
液晶光学领域：基板清洗、光刻制程紫外光源状态评估。
印刷行业：UV 油墨、光油固化生产线紫外辐照参数校验。
光学材料实验室：感光材料、薄膜样品紫外曝光条件试验。
电子制造厂品控与设备工程部门，汞灯曝光制程配套紫外能量检测设备。
