M3030 气体质量流量控制器M3030

1. 用途及特点

气体质量流量控制器( Mass Flow Controller 简称MFC )能够在较大的量程

范围内对气体的质量流量进行精密测量和控制。

气体质量流量计( Mass Flow Meter 简称MFM )能够在较大的量程范围内

对气体的质量流量进行精密测量。

它们在石化工业、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、环保和

真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺

设备，如、氧化、CVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、；以及微反应装置、混气配气系统、镀膜设备、光纤熔练、气相色谱仪及其它分析仪器。

Line-Tech Ltd.致力于对产品的性能和生产工艺的不断改进。对M 系列气

体质量流量控制器（MFC）和气体质量流量计（MFM）进行了全新的技术改造，

在功能和性能上有了进一步的提高。

M 系列气体质量流量控制器和质量流量计具有精度高、响应速度快、重

复性好、稳定性佳、软启动、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下

工作)，其操作使用方便，可任意位置安装调试，并更好的与计算机连接实现自

动控制。

M3030V 和M3030A 型 气体质量流量控制器（MFC）性能指标

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

项 目 M3030V型 M3030A

1 流量规格（N2）: 10sccm ～ 30slpm

（本公司可以为客户在10sccm ～ 30slpm范围内任何区域标定）

2 准确度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重复精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 响应时间 :≤3sec ( 特别要求：:≤1sec )

5 耐压 :zui高 95 bar

6 工作环境温度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 输入输出信号: 0 ~ 5Vdc   4 ~ 20mA

8 电源 :±15Vdc, 350mA

9 外形尺寸

总长：依进气口、出气口接头规格而定

宽：36mm 高：138mm

气路接头形式

可提供5 种尺寸接管外径的接头类型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

     范