Harrick 基本型 等离子清洗器

基本参数：

• 主要特征：
          台式设计，结构紧凑精致
          低、中、高三档可调节功率，zui大可为18W
          设备辐射小，安全环保

• 外形尺寸：
          8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）
• 重量：
          6.0kg
• 输入电源：
          220 V／50Hz
• 输入功率：
          100 W
• 功率档：
          低档680V DC、10mA DC、6.8W
          中档700V DC、15mA DC、10.5W
          高档720V DC、25mA DC、18W
• 常用工作气体：
          空气、氩气、氮气或混合气体等
• 基本配置：
          直径3英寸，长6.5英寸的耐热玻璃舱体。
          可拆卸舱盖。
          zui大为18W的RF线圈。
          1/8英寸NPT针阀
          1/8英寸NPT三通阀
• 选配件：
          石英等离子清洗舱
          石英托盘（用于放置样品）
          气体计量混合器Plasma FloTM
• 周边设备：
          基本型真空泵（PDC-VPE-2）

可选件：

• 选件一：气体计量混合器PlasmaFloTM
  
  功能及配置简介：
  1、Harrick  PlasmaFloTM气体计量混合器是一台可任选的以满足客户的不同需求的备件。主要应用于样品的表面改性。
  2、在等离子清洗过程中气体流混合和压力监视。
  3、为向舱内注入两种气体提供了可能。
  4、含两个标准的气体流量计（1.0 SCFH & 2.0 SCFH）
  5、温差电偶真空度表测量舱内压力
  6、适用气体：空气、氮气、氩气或混合气体。
  7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
  8、订货号：PDC-FMG-2  
• 选件二：真空泵
  
  Harrick等离子清洗需要使用zui小1.4 m3/hr （0.83 cfm），压力为200 mTorr （0.27 mbar）的真空泵。Harrick 提供两种可选型号：
     1、PDC-VP-2 （220V）
            抽真空速度（50/60 Hz）: 3.2/3.6 m3/hr
            极限压力（气镇关）：1.5 mTorr
            极限压力（气镇开）：23 mTorr
            电机功率：（50/60 Hz）: 250/300 W
            重量: 34 lbs
            尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
     2、PDC-VPE-2 （220V）
            抽真空速度（50/60 Hz）: 5.1 m3/hr
            极限压力（气镇关）: 7.5 mTorr
            极限压力（气镇开: 150 mTorr
            电机功率（50/60 Hz）: 373 W
            重量: 27 lbs
           尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D"  
• 选件三：石英等离子清洗舱及托盘