SR100 SR100 光谱反射薄膜厚度测量系统

特点：
• 易于安装
• 基于视窗结构的软件，很容易操作
• *的光学设计，以确保能发挥出*的系统性能
• 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量
• *的光源设计，有着较好的光源强度稳定性
• 有四种方法来调整光的强度：
 通过电源的调节旋钮来调节电源输出的大小
 在光输出端口滤光槽内调整滤光片来调整
 调整光束大小
 通过TFProbe软件，在探测器里调整积分时间
• zui多可测量5层的薄膜厚度和折射率
• 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数
• 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量
• 系统配备大量的光学常数数据及数据库
• 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用*的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析；  
• 可升级至MSP（显微分光光度计）系统，SRM成像系统，多通道分析系统，大点测量。
• 通过模式和特性结构直接测量
• 提供的各种配件可用于特殊结构的测量，例如通过曲线表面进行纵长测量。
• 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。
系统配置：
• 型号：SR100R
• 探测器： 2048像素的CCD线阵列
• 光源：高稳定性、长寿命的卤素灯
• 光传送方式：光纤
• 台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量，200mmx200mm的大小
• 软件： TFProbe 2.2版本的软件
• 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连
• 测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率
• 电脑硬件要求：P3以上、zui低50 MB的空间
• 电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
• 保修：一年的整机及零备件保修
规格：
• 波长范围：250nm到1100 nm
• 光斑尺寸：500μm至5mm
• 样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm
• 基板尺寸：zui多可至50毫米厚
• 测量厚度范围*：2nm〜50μm
• 测量时间：zui快2毫秒
• 精确度*：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
• 重复性误差*：小于1 Ǻ