YX-3晶体籽晶定向仪(适用晶棒、籽晶)
YX-3晶体籽晶定向仪:主要用于硅材料晶棒加工籽晶前的定向,籽晶定向。
标准配置如下:
1、一侧配籽晶夹具(直径260),对晶棒端面进行定向,(111,100)蓝宝石A、C、等,测量尺寸Φ6---8英寸,长150mm晶棒;测试好后,拿下夹具,然后在内圆切割机或籽晶钻床等机床上加工籽晶条。
2、另一侧对上述切割好的籽晶条端面进行定向;测量籽晶尺寸:圆籽晶Φ5---20mm,方籽晶Φ5---20mm,长 150mm。
主要参数:
项 目参 数
晶棒直径圆棒6---8英寸
晶棒长度150mm zui大180mm
籽晶直径Φ5---20
籽晶长度150mm zui大180mm
夹具直径260 mm
测试晶面111、100
定向精度±30″
数显方式θ:度;分;秒;zui小读数10″
技术指标符合YX-2参数