YX-2D6A晶体定向仪(通用型;适用晶圆片、晶棒)
YX-2D6A蓝宝石晶体定向仪:是在标准定向仪基础上,针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,显示器为外置式,样品台加装承重轨道.属于通用型。
YX-2D6A-S晶体定向仪具有数据导出功能:
例如:单晶硅 Si(111)晶向,测量前输入标准角度14°14'00〃。实测量角度14°16'10〃上传电脑后自动计算差值结果是0.036°,不需要人工计算差值,还可以把计算结果存储成EXCEL格式方便打印与保存。(配置与技术参数2D6A相同)
标准配置如下: GA, GB测角仪。
1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片;111, 100, 等角度;能测晶棒参考面110;OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度.
2、另一侧GB专为晶棒设计,设计为宽130,长300平托板,配2个可移动尼龙V型槽晶棒托,能测Φ2---Φ6英寸晶圆片;能测晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 长400晶棒;如:硅(111)蓝宝石C面等角度;*个测2---3英寸端面,第二个测4---6英寸端面。
主要参数:
两边测角仪客户也可根据本公司晶体尺寸、形状选配不同型号测角仪,请参考我公司的G系列测角(GA、GB、 GC、GD, GE、 GF、GH)的型号选购配置。
YX-2D6(H8)系列晶体定向仪