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  • 射频等离子处理单元

K1050X 射频等离子处理单元

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面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号K1050X
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新时间2018-01-31
  • 厂商性质经销商
  • 所在地区江苏
  • 实名认证已认证
  • 产品数量14
  • 人气值231
产品标签

灰化仪

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K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成,同时两种处理气体流量针阀监控,全部或部分通气口控制.
射频等离子处理单元 产品详情

EMITECH K1050X射频等离子处理单元

它的腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,方便使用。
真空系统为旋转机械泵或可选用膜片泵作为前级真空的涡轮分子泵。
在真空装载端口及SEM/TEM中特殊的清洁应用时,可方便更换抽屉式抽拉系统。
此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀。

 

应用:
● 石棉试样制备
● 有机材料微观灰化
● SEM&TEM中有机样品刻蚀
● 去除光刻胶及电子元件中的包胶
● 塑料品的表面处理
● SEM/TEM中的样品夹清洗

 

仪器特点

● 固态射频发生器及调谐电路
● 全自动控制
● 抽屉式结构
● 两种处理气体
● 紧凑的台式系统

南京康氏保健制品有限公司

: 、86511550 、83222796()

:www.nj-ks.com

:njksf123

 

仪器优点

● 低温灰化过程
● 易操作
● 装/卸样品方便
● 可选择不同的混合气体
● 节省空间
● 注:我们建议使用No. 2泵,它具有“的油”。

 

技术规格
仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 300mm H 
桶形工作腔室:‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.(硼硅酸盐玻璃作为标准配置)
重量:25Kg
拉出式抽屉:样品托盘为抽拉式
等离子输出:射频电源-固态150瓦射频峰值,通常操作范围在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
    (备注:所使用的频率为标准组织CISPR认可的“工业”频率) 
真空测量范围:完整的操作真空显示的活性计量头ATM - 1x10-5 mbar全刻度-通常操作真空为0.5mbar到1.0mbar
数字计时单元:99.9小时选择范围时间显示。在灰化过程结束后自动终止。
双气体流控制:双气体针阀控制,可选1或2或两种气体(校准5到 100cm3/分空气 @ A.T.P.)
电源:230V 50Hz (包括泵zui大电流5 Amp);115V 60Hz(包括泵zui大电流10 Amp)
Services: Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵:No. 2 泵 (with a synthetic oil "Fomblin" for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr

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