CMS1500山武气体质量流量计*
CMS1500气体质量流量计是高可靠性气体质量流量计,使用了山武公司新近开发的微流量传感器，这种传感器是感热式流量传感单元。超小型结构、高精度传感器、高密度集成电路设计技术的结合使这种仪表具有精度高、量程比大，且成本低的优点。
它所适用气体有空气，氮气，氩气，二氧化碳（CO2）1；气体必须干燥，不含腐蚀性成分（例：氯、硫、酸等），气体必须干净，不含粉尘和油滴。流量范围为1500L/min（标准状态），那么这个标准状态是指20℃、1个大气压。各种气体，zui大测量范围 （20℃,1atm下）分别是空气、氮气、氩气为1500L/min，二氧化碳则是900L/min，它的测量精度为30≤x＜150L/min：±1%FS±1位。
CMS1500气体质量流量计显示的zui小值为15L/min，分辨率为5L/min，操作温度范围在0～50℃（保证测量精度的温度10～35℃），贮存温度范围为-20～＋70℃，操作湿度为10～90%RH（无结露），本体材料为铝合金，机壳材料为聚碳酸酯，操作压力在0～0.5MPa以内，耐压为1MPa，安装位置为水平安装,流体流向:左→右，供电电压为12～24VDC，采样周期为100ms±20ms，输出信号（瞬时流量）是4～20mA，事件功能有瞬时流量上/下限,累计满,反向累计切除,累计脉冲输出，外部开关输入点数为1，电气连接连接电缆（可选部件），显示4位7段LED（切换显示瞬时流量和累计流量），重量约3000g。www.zhoudar.com长野计器 江生
