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Granville-Phillips系列390 Micro-lon ATM模块(GP 390型真空计)
真空测量解决方案
Granville-Phillips的Micro-lon ATM模块复合了经标定的Micro-lon电离规技术和微型Conductron热损失传感技术和两个压阻薄膜传感器于一体，从而提供了从高真空到大气压的精确、连续的压力测量。
GP 390型真空计运用薄膜传感器技术，该产品可以提供近大气端的精确的绝压测量并能提供大气端真空腔室内精准的相对压力指示。GP 390型真空计*的传感器设计消除了在高压力下影响热损失传感器特性的热效应。 GP 390型真空计这种小型的模块复合了全部四种传感器及控制电子器件于一个紧凑的一体化设计中，减少了腔室真空规管的需求数量并zui小化所占空间。全量程压力测量可以通过单一模拟量信号或可选的串行RS-485或DeviceNet数字协议输出。GP 390型真空计RS-485和DeviceNet版本产品可以zui多选择三个设定点继电器用于工艺控制，可以在真空压力测量范围内设定任意压力值或者相对压力值。
GP 390型真空计复合规管技术
以往，在宽量程范围内要进行精确测量需要对个传感器，多个真空系统接口，以及相关电缆及电子器件。Granville-Phillips的Micro-lon ATM模块（GP 390型真空计）合并多传感器于一个微机控制设计中，减少了整体购置成本，同时提高真空测量性能。
Granville-Phillips将20多年成功的规管设计以及现场装机经验运用到了生产新的真空测量标准产品Micro-lon ATM模块（GP 390型真空计）中。量程宽、高性能、及紧凑型设计的Micro-lon ATM（GP 390型真空计）是您进行高真空系统压力测量的明智之选。
GP 390型真空计内部截面
GP 390型真空计特点与优势：
宽量程范围：提供从10-9Torr到大气压的真空压力的连续测量。
高性能：经过验证的Micro-lon双灯丝电离规技术，获的热损失传感器，以及精准的薄膜技术消除了热损失传感器的热影响，增强了高压力的测量性能。
自动控制：完整集成的传感器自动控制激活和断开电离规，因此简化了规管操作。设定点的产品中，触点继电器可用来控制其他真空器件或实现安全互锁。设定点会存于非易失性存储器中。
紧凑设计：一个Micro-lon规管，一个热损失传感器连同一个大气薄膜规、一个绝压薄膜规，和控制器件全部集成在一个紧凑的模块包中。
RS-485接口：允许模块和主机之间进行通讯，并可使用可选的RS-485模块配置进行通讯。
DeviceNet接口：可提供高速压力测量读数及简单的规管配置参数的获取。
可选的过程控制继电器：zui多可用三个设定
GP 390型真空计传感器开关点
点控制继电器从而简化工艺控制功能。设定点可以通过RS-485接口来配置。
现场可更换的规管组件：规管组件可以在模块从真空系统上取下后仅仅使用螺丝刀就能实现快速简单的更换。
GP 390型真空计技术规格
测量范围（对于空气或N2）（注释1、2、3） | |
Torr | 1x10-9到大气压 |
Mbar | 1.33x10-9到大气压 |
Pa | 1.33x10-7到大气压 |
X射线极限（注释4） | |
Torr | <3x10-10 |
Mbar | <4x10-10 |
Pa | <4x10-8 |
基于环境压力的相对压力测量范围 | |
Torr | -750到+250 |
Mbar | -999到333 |
KPa | -99.9到33.3 |
精度（对于空气或N2的绝压）（注释5） | |
Torr | 1x10-6到100mTorr：+/-15%读数；100mTorr到150：+/-10%读数；150到1000：+/-2.5%读数 |
Mbar | 1.33x10-6到0.133：+/-15%读数；0.133到200：+/-10%读数；200到1333：+/-2.5%读数 |
Pa | 1.33x10-6到13.3：+/-15%读数；13.3到2x104：+/-10%读数；2x104到1.33x105：+/-2.5%读数 |
重复性（对于空气或N2的绝压）（注释6） | |
Torr | 1x10-6到100mTorr：+/-5%读数；100mTorr到150：+/-2.5%读数；150到1000：+/-1.0%读数 |
Mbar | 1.33x10-6到0.133：+/-5%读数；0.133到200：+/-2.5%读数；200到1333：+/-1.0%读数 |
Pa | 1.33x10-6到13.3：+/-5%读数；13.3到2x104：+/-2.5%读数；2x104到1.33x105：+/-1.0%读数 |
精度（相对压力） | +/-（2.5Torr+2.5%读数）；+/-（3.3mbar+2.5%读数）；+/-（0.33KPa+2.5%读数） |
响应时间 | <25毫秒 |
模拟量输出 | |
压力 | 对数，0.5到7.0VDC，0.5V/数量级 |
相对压力 | 线性，1-5VDC，-750到+250Torr（-1000到+333mbar；-100到+33KPa） |
RS-485串口 | |
数字通讯口 | 2线，半双工 |
通讯格式 | ASCII，无奇偶校验位，1位停止位 |
波特率 | 1200,2400,4800,9600,19200（默认），38400 |
地址 | 0-63，通过地址选择开关选择或通过RS-485命令 |
DeviceNet网络接口 | |
通讯类型 | 轮询I/O和显示传送 |
通讯格式 | BOOL，BYTE，STRUCT，SSTRING，REAL，INT，UINT，USINT，EPATH和WORD数据 |
波特率 | 125,250或500千波，开关选择 |
地址 | 0-63，通过地址选择开关选择 |
工作温度 | 10-400C（50-1040F）不结露 |
存放温度 | -40-+700C（-40-+1580F）不结露 |
烘烤温度 | zui高1050C（2210F），移除电子器件 |
电离规发射电流 | 自动量程切换 |
电离规自动控制设定（默认） | |
电离规启动 | 2x10-2Torr；2.66x10-2mbar，2.66Pa，随压力上升关闭 |
电离规停止 | 3x10-2Torr；3.99x10-2mbar，3.99Pa，随压力上升关闭 |
切换至高发射 | 5x10-6Torr；6.66x10-6mbar，6.66x10-4Pa，随压力上升关闭 |
切换至低发射 | 1x10-5Torr；1.33x10-5mbar，1.33x10-3Pa，随压力上升关闭 |
电离规除气 | 电子轰击；每个灯丝3W一分钟 |
电离规灯丝 | 钨丝或镀氧化钇的铱丝 |
灯丝操作（注释7） | 交替（氧化钇灯丝的默认模式），自动，手动（钨丝的默认模式） |
热损失传感丝 | 镀金钨 |
规管容积 | 10.8cm3（0.65in3） |
LED指示 | 模块状态 |
I/O连接 | RS-485/模拟量：15针D型插针接头，DeviceNet：5针微型接头 |
zui大冲击电流 | RS-485/模拟量：2A 48W 0.5秒，DeviceNet：0.25A |
供电要求 | RS-485/模拟量：24VDC+10%到-15%，1A 22W额定；DeviceNet：24VDC(11到26.4VDC)额定0.2A |
CE认证 | |
EMC电磁兼容指令 | 89/3361/EEC；EN50081-2，EN50082-2，EN1326-1 |
低压指令 | 73/23/EEC；EN61010-1 |
显示选项 | 图形液晶 |
继电器设定点选项 | 仅RS-485或DeviceNet：2SPDT(NO/NC)或3SPST(NO)，每个设定点都可以独立分配给绝压或相对压力测量 |
继电器触点额定值 | |
zui大 | 1A 30VDC阻抗 |
zui小 | 5mA 5VDC阻抗 |
重量 | 728.5g（25.7oz）（2.75CF法兰） |
外壳材料 | 压铝粉末喷涂 |
暴露于真空下的材质 | 304不锈钢，钽，钨，铱丝镀氧化钇，氧化铝，银铜焊料，可伐，可伐镀金或镀镍，硅酸硼玻璃 |
GP 390型真空计注释：
测量结果会随不同气体和混合情况而改变。
Micro-lon ATM模块不能用于易燃易爆气体测量。
大气压的数值是基于标定时环境压力。
X射线极限是规管的zui小绝压读值。在X射线极限附近不可能进行重复测量。
精度（规管读数和校验参考标准之间的差异）是通过数据统计确定的并且包括了规管和电子器件的综合性能。
重复性是指同一模块在不同时间读取相同压力值的能力。
在交替模式下模块将交替激活电离规灯丝。在自动模式下灯丝1会先工作直至它不能工作为止，然后模块自动切换到灯丝2工作。在手动模式下模块会按照自动模式的操作方式让灯丝工作，除非手动干预要求激活灯丝2。
GP 390型真空计尺寸
