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250度光刻胶 MES系统智能联网无尘烘箱
系统记录并处理各种烘箱异常事件。如：超温，氮气不足，含氧量超标、门未关到位
250度光刻胶 MES系统智能联网无尘烘箱
工厂系统，选择烘烤工艺，启动/停止烘箱；
2.> 工厂系统根据，过程判断待烤料件工位，记录反馈工位信息；
3.> 系统控制开/关门等动作；
4.> 系统记录并处理各种烘箱异常事件。如：超温，氮气不足，含氧量超标、门未关到位；
5.> 实施记录各种相关数据，如，温度，料件ID，工艺信息
智能烘箱主要参数介绍：
温度范围：室温+20℃～300/400/500/600℃
均匀度：±1.5%
洁净等级：Class10 Class100（洁净度要求可根据客户需求配置）
含氧量：<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM （含氧量要求可根据客户需求配置）
升温速度：常温～+600℃,升温速率：0~7℃/min，升温斜率程序可控
降温速度：降温斜率程序可控，500℃~300℃约3~5℃/min,300℃~120℃约1~3℃/min,120℃~65℃约0.5~1℃/min
控制系统优势介绍
控制系统 | 工控电脑+欧姆龙PLC | |
权限 | 给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码； | |
给每个操作者，自定义分配权限（如：启动，停止，调取工艺，调试，查看报表……） | ||
记录当前操作者的所有操作记录； | ||
控制方式切换 | 本地模式 | 由操作者，创建工艺、选择工艺、执行； |
远程模式 | 客户系统发送运行工艺指令。支持：MES, SECS/GEM (其他系统，可沟通开发) | |
数据信息(数据信息可以存10年以上！) | 运行工艺信息记录 | |
运行数据记录（如：温度、时间、含氧量、气体流量、压力……） | ||
事件记录（开/关门事件、运行/停止事件、报警事件、故障事件） | ||
通讯记录（与客户系统通讯记录） | ||
操作记录（操作者操作记录，如：登录，注销，故障处理……） | ||
故障信息显示 | 通讯故障 | |
加热断线 | ||
循环风机故障 | ||
气体管路故障 | ||
异常处理 | 上偏差报警、下偏差报警、上偏差报警停机、上限报警、上限报警停机；（控制点和采样点） | |
250度光刻胶 MES系统智能联网无尘烘箱
