微流量气体质量流量计 多钦仪表（上海）有限公司选型推荐
产品标题
MEMS 微流量热式气体质量流量计 DN3/DN6/DN8/DN10 超微量气体精密计量 免温压补偿
一、产品简介
二、核心卖点
超微量测量灵敏度
可测 0.001L/min（sccm 级）微气流，解决传统仪表小流量漂移、检测盲区问题，微小泄漏、微量供气均可稳定捕捉。
MEMS 高精度传感
±0.5%~±1.0% FS 测量精度，重复性≤±0.2% FS，内置温度自补偿算法，抑制环境温差造成零点漂移。
免温压补偿直测质量流量
热式恒温差原理，直接输出标准质量流量，无需搭配温度、压力变送器，简化整套气路控制系统。
直通式低阻无压损
内部无节流、无阻挡结构，气流通过阻力极小，不会干扰原有微量气路压力平衡，适配低压微流量管线。
多口径微型适配
DN3/DN6/DN8/DN10 小口径全覆盖，卡套 / 标准内螺纹两种连接，适配毛细管、微型试验管路狭小安装空间。
毫秒级快速响应
T98 响应时间≤100ms，可实时追踪动态微量气流变化，适配气体配比、瞬态泄漏监测工况。
多信号智能输出
标配 4-20mA 模拟量、RS485 Modbus-RTU 数字通讯，可选脉冲流量累积输出，无缝对接 PLC、工控机、数据采集仪。
防爆 / 工业双版本可选
标准工业款 IP65 防护；可选本安防爆 Ex ia ⅡC T4，适配氢气、甲烷等易燃易爆微量气体测量。
三、完整技术参数
| 参数项目 | 标准规格 |
|---|---|
| 测量原理 | MEMS 热扩散恒温差式质量流量传感 |
| 公称通径 | DN3、DN6、DN8、DN10（微型小管径） |
| 标准流量量程 | DN3：0.005~5L/min；DN6：0.01~10L/min；DN8：0.05~50L/min；DN10：0.1~100L/min等 |
| 精度等级 | 标准 ±1.0% FS；高精度定制 ±0.5% FS |
| 重复性 | ≤±0.2%FS |
| 量程比 | 1:100 宽量程，微量到大流量一台覆盖 |
| 响应时间 | ≤100ms（可软件调节延时） |
| 适用介质 | 空气、氮气、氧气、氢气、氩气、CO₂、氦气等洁净干燥无腐蚀气体 |
| 介质温度 | -20℃~+60℃，宽温定制 - 40~120℃ |
| 工作压力 | 0~1.6MPa，高压定制最高 3MPa |
| 接口形式 | G1/8、G1/4 内螺纹；不锈钢双卡套（适配毛细管） |
| 接液材质 | 316L 不锈钢，防腐无吸附，适配高纯气体 |
| 供电电源 | DC12~24V 宽电压，功耗≤5W |
| 显示配置 | LCD 背光数显，同时展示瞬时流量、累积总量、介质温度、故障报警 |
| 输出信号 | 4-20mA、RS485 Modbus-RTU、脉冲（三选一或多选） |
| 防护等级 | 标准 IP65 |
| 防爆规格 | 可选本安防爆 Ex ia ⅡC T4 Ga |
| 安装方式 | 水平、垂直、倾斜任意角度安装，不受重力影响 |
四、产品优势
解决微流量测量痛点
传统浮子、孔板流量计在低流速下存在测量盲区、精度差；本产品芯片灵敏度高，零点稳定，极小气流也能精准读数。
系统集成成本更低
无需配套温压补偿元件，单台仪表即可输出标准质量流量数据，减少管线配件、布线、编程工作量。
体积小巧易集成
整机尺寸紧凑，可嵌入实验设备、分析仪器、小型自动化设备内部，不占用实验台 / 机柜空间。
长期低维护
无叶轮、无弹簧等活动易损件，直通流道不易积灰堵塞，仅需每年一次简易吹扫校准，运维成本低。
高纯气体适配
316L 不锈钢流道无橡胶吸附层，不会污染特种高纯工艺气体，满足半导体、生化实验室洁净要求。
五、典型应用场景
实验室科研
微量气体配比、催化反应气路、微量气体标定、热重 / 质谱配套载气计量；
半导体 & 光伏
CVD/PVD 微量工艺保护气、特种硅烷 / 磷化氢微量供气监测、晶圆吹扫气计量；
分析检测仪器
气相色谱 GC、质谱仪微量载气控制、尾气微量成分流量采集；
新能源氢能
燃料电池微量氢气供给、氢燃料电池台架微量配气、氢气管路微泄漏监测；
生物医药
细胞发酵微量供氧、生物反应器 CO₂微量补充、医用制氧机微小流量监测；
气密性检测
电池壳体、精密零部件微小泄漏定量检测，判定微量漏气量；
工业自动化
设备氮气微量吹扫、微型气动保护气、小型产线微量工艺气在线监控。
六、安装与使用说明
流向要求：按照阀体表面 “FLOW” 箭头安装，介质流向与标识保持一致；
直管段要求：微小流量工况放宽，上游≥3DN、下游≥2DN 即可，无需长直管；
介质预处理：气体必须干燥无油、无固体粉尘，上游加装 5μm 微型过滤器，保护 MEMS 传感芯片；
电气接线：通讯信号线采用双屏蔽线缆，远离变频器、大功率电机，单独接地降低电磁干扰；
零点校准：仪表支持一键自动空管零点校准，无需拆卸管路，长期使用定期校准保证精度。
七、售后保障
整机质保 2 年，每台出厂均经过标准气体实流标定，附带校准证书、产品合格证；
免费提供选型方案、气路布局指导、现场参数调试；
支持非标量程、特殊介质标定、高压、高温、防爆、卫生级定制；
终身提供流量校准、故障检修、软件参数修改技术服务。
