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北京华旭世纪科技有限公司
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气体质量流量计/控制器的结构和工作原理2018/12/18
气体质量流量控制器(MassFlowController缩写为MFC)用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制;气体质量流量计(MassFlowMeter缩写为MFM)用于对于气体的质量流量进行精密测量。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工,冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。1、结构MFM由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道机壳等部件组成,只能对气
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