重庆汗丁贸易有限公司
简单介绍: 重庆汗丁直销olympus奥林巴斯MX63 / MX63L半导体检查显微镜重庆汗丁直销olympus奥林巴斯MX63 / MX63L半导体检查显微镜的多功能观察功能可提供清晰,锐利的图像,因此用户可以可靠地检测样品中的缺陷。OLYMPUS中的新照明技术和图像采集选项Stream图像分析软件为用户评估样品和记录其结果提供了更多选择。
重庆汗丁直销olympus奥林巴斯MX63 / MX63L半导体检查显微镜
重庆汗丁直销olympus奥林巴斯MX63 / MX63L半导体检查显微镜产品功能:
The MX63 series’ versatile observation capabilities provide clear, sharp images so users can reliably detect defects in their samples. New illumination techniques and image acquisition options within OLYMPUS Stream image analysis software give users more choices for evaluating their samples and documenting their findings.
MIX observation technology produces unique observation images by combining darkfield with another observation method, such as brightfield, fluorescence, or polarization. MIX observation enables users to view defects that are difficult to see with conventional microscopes. The circular LED illuminator used for darkfield observation has a directional darkfield function where only one quadrant is illuminated at a given time. This reduces a sample’s halation and is useful for visualizing a sample’s surface texture.
Structure on semiconductor wafer
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The IC pattern is unclear. | The wafer color is invisible. | Both the wafer color and IC pattern are clearly represented. |
通过多个图像对齐(MIA),用户只需在手动平台上移动KY旋钮即可快速轻松地将图像拼接在一起 - 无需电动载物台。OLYMPUS Stream软件使用模式识别生成全景图像,为用户提供更广阔的视野。
即时MIA图像的硬币
OLYMPUS Stream中的扩展聚焦成像(EFI)功能可捕获高度超出物镜焦点深度的样品图像,并将它们堆叠在一起以创建一个全部聚焦的图像。EFI可以使用手动或电动Z轴执行,并创建高度图以便于结构可视化。在Stream Desktop中离线时也可以构建EFI图像。
螺柱在IC芯片上凸起
使用上等图像处理,高动态范围(HDR)可调整图像内亮度的差异,从而减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉质量,从而有助于生成具有专业外观的报告。
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有些地方很刺眼。 | HDR明显暴露出黑暗和明亮的区域。 | 由于滤色器的亮度,TFT阵列变黑。 | TFT阵列由HDR曝光。 |
测量对质量和过程控制和检查至关重要。考虑到这一点,即使是入门级的OLYMPUS Stream软件包也包含一整套交互式测量功能,所有测量结果都保存在图像文件中以供进一步记录。此外,OLYMPUS Stream Materials Solution为复杂的图像分析提供了直观,面向工作流程的界面。只需单击一个按钮,即可快速准确地执行图像分析任务。通过显着减少重复任务的处理时间,操作员可以专注于手头的检查。
基本测量(印刷电路板上的图案)
投掷电源解决方案(PCB通孔的横截面)
自动测量解决方案(晶圆结构)
重庆汗丁直销olympus奥林巴斯MX63 / MX63L半导体检查显微镜产品画面质量:
物镜的光学性能直接影响观察图像的质量和分析结果。奥林巴斯UIS2高倍率物镜旨在*大限度地减少波前像差,提供可靠的光学性能。
坏波锋
良好的波前(UIS2目标)
MX63系列采用高强度白光LED光源,用于反射和透射照明。无论强度如何,LED都能保持一致的色温,从而获得可靠的图像质量和色彩再现。LED系统提供高效,长寿命的照明,是材料科学应用的理想选择
颜色随光照强度而变化。
颜色与光强度一致,比卤素更清晰。
*使用自动曝光拍摄的所有图像
与数字显微镜类似,使用OLYMPUS Stream软件时可以进行自动校准。自动校准有助于消除校准过程中的人为变化,从而实现更可靠的测量。自动校准使用一种算法,该算法可从多个测量点的平均值自动计算正确的校准。这可以*大限度地减少不同运营商引入的差异,并保持一致的准确性,从而提高定期验
OLYMPUS Stream软件具有阴影校正功能,可适应图像角落的阴影。与强度阈值设置一起使用时,阴影校正可提供更**的分析。
半导体晶圆(二值化图像)
右图:阴影校正可在整个视野范围内产生均匀照明。
明 Brightfield和darkfield 带有内置离合器驱动器的同轴右手柄:MX-SIC8R 带有内置离合器驱动器的同轴右手柄:MX-SIC6R2
MX63 MX63L 光学系统 UIS2光学系统(无限远校正系统) 显微镜框架 反射光照明 白光LED(带光强度管理器)12 V 100 W卤素灯,100瓦汞灯
明场/暗场/镜子立方体手动转换。(镜面立方体是可选的。)
通过手动操作改变3个位置编码镜单元
内置电动孔径光阑(每个物镜的预设置,暗场自动全开)
观察模式:明场,暗场,差分界面对比度(DIC)* 1,简单偏光* 1,荧光* 1,红外* 1和MIX观察(4方向暗场)* 2
* 1可选镜面立方体,* 2需要MIX观察配置 透射光照明 透射光照明单元:需要MX-TILLA或MX-TILLB。
- MX-TILLA:冷凝器(NA 0.5)和孔径光阑
- MX-TILLB:聚光器(NA 0.6),孔径光阑和场
光源光源:LG-PS2(12 V,100 W卤素灯)光源指南:LG-SF
观察模式:明场,简单偏光 焦点 行程:32 mm
每转精细行程:100μm
*小刻度:1μm
上限止动器和粗手柄的扭矩调节 *大载重(包括舞台和支架) 8公斤 15公斤 观察管 宽视场(FN 22 mm) 直立和三目:U-ETR4
直立,倾斜和三目:U-TTR-2
倒置和三目:U-TR30-2,U-TR30IR(用于红外观察)
倒置和双目:U-BI30-2
倒置,倾斜和双目:U-TBI30 超宽视场(FN 26.5 mm) 直立,倾斜和三目:MX-SWETTR(光路切换100%(目镜):0(相机)或0:100%)
直立,倾斜和三目:U-SWETTR(光路切换100%(目镜):0(相机)或20%:80%)
倒置和三目:U-SWTR-3 电动物镜转换器
电动六倍与滑块槽,用于DIC:U-D6REMC
电动centerable五元组具有用于DIC的滑块槽:U-P5REMC
电动六倍,带有用于DIC的滑块插槽:U-D6BDREMC
电动五元组,带有用于DIC的滑块插槽:U-D5BDREMC
电动可中心五元组,带有用于DIC的滑块插槽:U-P5BDREMC 阶段(X×Y)
行程:210 x 210 mm
透射光照射面积:189 x 189 mm
行程:158 x 158 mm
(仅反射光) 带有内置离合器驱动器的同轴右手柄:MX-SIC1412R2
行程:356 x 305 mm
透射光照射面积:356 x 284 mm 重量 约。35.6kg(显微镜框架26kg) 约。44kg(显微镜框架28.5kg)
重庆汗丁直销olympus奥林巴斯MX63 / MX63L半导体检查显微镜产品应用:
MX63系列用于各种反射光显微镜应用。这些应用程序是系统用于工业检查的一些方法的示例。
电极部分的红外图像
红外(IR)用于寻找IC芯片和玻璃上硅制成的其他器件内部的缺陷。
电影
(左:明场/右:偏光)
偏振光用于揭示材料的纹理和晶体的状态。它适用于检查晶圆和LCD结构。
硬盘
(左:明场/右:DIC)
差分干涉对比度(DIC)用于帮助查看具有微小高度差异的样本。它非常适用于检查具有非常微小高度差异的样品,如磁头,硬盘介质和抛光晶圆。
半导体晶圆上的IC图案
(左:暗场/右:MIX(明场+暗场))
暗场用于检测样品上的微小划痕或瑕疵,或检查具有镜面的样品,例如晶片。MIX照明使用户可以查看图案和颜色。
半导体晶片上的光致抗蚀剂残留物
(左:荧光/右:MIX(荧光+暗场))
荧光用于使用特殊设计的滤光片立方体照射时发光的样品。这用于检测污染物和光致抗蚀剂残留物。MIX照明使得能够观察光致抗蚀剂残留物和IC图案。
LCD彩色滤光片
(左:透射光/右:MIX(透射光+明场))
该观察技术适用于透明样品,例如LCD,塑料和玻璃材料。MIX照明使得能够观察滤光器颜色和电路图案。
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