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详细介绍
非触式微区形貌测试系统OSP370/470
使用非接触式激光位移传感器，OSP370模块可快速地对非触表面进行高精度测量。在不接触样品表面的情况下，它可以在10mm的高度范围内提供小于1微米高度分辨率的3D表面特写影像。
非触式微区形貌测试系统OSP370/470
各种可选配件，包括各种可选探针，可选池体(Environmental TriCellTM, μTriCellTM,和Shallow μTriCellTM)，长工作距离光学视频显微
镜(VCAM2)和3D表面阴影渲染软件(3DlsoPlotTM)。能配置到一个特定的应用程序并升级，使M370*灵活，同时保持顶端的性能。
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